JPS63245199A - Method and device for image sensor inspection - Google Patents

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明はイメージセンサ中に欠陥画素があるか否かを検
査するイメージセンサ検査方法及び装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to an image sensor testing method and apparatus for testing whether or not there are defective pixels in an image sensor.

（従来の技術） イメージセンサ中に欠陥画素があるか否かを検査するた
めに隣接する画素の信号振幅差を求める隣接差分処理が
提案されている。この隣接差分処理をｔｊＳ２図、第３
図を用いて説明する。画面１上の例えば水平ライン方向
に並んだある画素列２を検査する場合を例として説明す
る。この画素列２中には第２図に示すように出力信号が
小さすぎる黒欠陥画素３と出力信号が大きすぎる白欠陥
画素４があるものとする。(Prior Art) Adjacent difference processing for determining signal amplitude differences between adjacent pixels has been proposed in order to test whether there is a defective pixel in an image sensor. This adjacent difference processing is shown in Figure 3 of tjS2.
This will be explained using figures. An example will be described in which a certain pixel row 2 arranged in the horizontal line direction on the screen 1 is to be inspected. As shown in FIG. 2, this pixel row 2 includes a black defective pixel 3 whose output signal is too small and a white defective pixel 4 whose output signal is too large.

これら黒欠陥画素３と白欠陥画素４を含む画素列２の一
部の画素Ａｎｓ画素Ａｎ＋１ｓ画素Ａ　ｎ＋２、・・・
（第３図（ａ））について考える。画素Ａｎｓ画素Ａｎ
ａ１、画素Ａｎ＋２．・・・の出力信号振幅は第３図（
ｂ）に示すような信号振幅Ｐ　ｎ”ｌ　ｓ信号振幅Ｐｎ
”ｌ　ｓ信号振幅Ｐｎ＋２、・・・となる。即ち、信号
振幅Ｐｎ＋１、信号振幅Ｐｎ＋３、信号振幅Ｐ　ｎ”５
　、信号振幅Ｐ　ｎ＋６の値に比較し、画素Ａ　ｎ＋２
の信号振幅Ｐ　ｎ＋２は小さい値を示し、画ｍ　Ａ　ｎ
＋４の信号振幅Ｐ　ｎ＋４は大きい値を示している。こ
れら信号振幅Ｐｎ＋１、信号振幅Ｐｎ＋１、信号振幅Ｐ
ｎ＋２、・・・についての隣接差分処理を施すと第３図
（Ｃ）に示すような信号振幅差Ｑｎ、信号振幅差Ｑｎ”
ｌ　、信号振幅差Ｑｎ＋２、・・・が求まる。Some pixels of the pixel row 2 including these black defective pixels 3 and white defective pixels 4 Ans pixel An+1s pixel A n+2, . . .
Consider (Figure 3(a)). Pixel Ans Pixel An
a1, pixel An+2. The output signal amplitude of ... is shown in Figure 3 (
b) Signal amplitude Pn”l sSignal amplitude Pn as shown in
"l s signal amplitude Pn+2, . . . . That is, signal amplitude Pn+1, signal amplitude Pn+3, signal amplitude Pn"5
, compared to the value of signal amplitude P n+6, pixel A n+2
The signal amplitude P n+2 of the image m A n+2 shows a small value, and the signal amplitude P n
The signal amplitude P n+4 of +4 indicates a large value. These signal amplitude Pn+1, signal amplitude Pn+1, signal amplitude P
When adjacent difference processing is applied to n+2, . . . , signal amplitude differences Qn and signal amplitude differences Qn'' are obtained as shown in FIG.
l, the signal amplitude difference Qn+2, . . . are determined.

Ｑｎ　　−信号振幅Ｐｎ　　−信号振幅Ｐｎ＋ＩＱｎ＋
１−信号振幅Ｐｎ＋１−信号振幅Ｐ　ｎ＋２Ｑ　ｎ＋２
−信号振幅Ｐ　ｎ＋２−信号振幅Ｐ　ｎ＋３Ｑ　ｎ＋３
−信号振幅Ｐ　ｎ＋３−信号振幅Ｐ　ｎ＋４Ｑ　ｎ＋４
−信号振幅Ｐ　ｎ＋４−信号振幅Ｐ　ｎ＋５Ｑ　ｎ＋５
−信号振幅Ｐ　ｎ＋５−信号振幅Ｐ　ｎ＋８Ｑ　ｎ＋８
−信号振幅Ｐ　ｎ＋８−信号振幅Ｐ　ｎ＋７これら差分
処理を画面１中の全ての画素について行なう。これら隣
接差分処理結果は、信号振幅差Ｑｎｓ信号振幅差Ｑｎ＋
１、信号振幅差Ｑ　ｎ”２　、・・・を各要素とする差
分画像として記憶しておく。Qn - Signal amplitude Pn - Signal amplitude Pn+IQn+
1-signal amplitude Pn+1-signal amplitude P n+2Q n+2
- Signal amplitude P n+2 - Signal amplitude P n+3Q n+3
- Signal amplitude P n+3 - Signal amplitude P n+4Q n+4
- Signal amplitude P n+4 - Signal amplitude P n+5Q n+5
- Signal amplitude P n+5 - Signal amplitude P n+8Q n+8
- Signal amplitude P n+8 - Signal amplitude P n+7 These differential processes are performed for all pixels in the screen 1. These adjacent difference processing results are signal amplitude difference Qns signal amplitude difference Qn+
1, signal amplitude difference Q n''2 , . . . are stored as a difference image having each element.

次にこのようにして得られた差分画像の各要素である信
号振幅差の絶対値が所定の閾値をこえたか否か判断する
。即ち、閾値をこえた画素は欠陥画素と、閾値をこえな
かった画素は正常画素と判断する。そしてこのようにし
て得られた欠陥画素の合計個数によりイメージセンサの
良／不良を判断する。Next, it is determined whether the absolute value of the signal amplitude difference, which is each element of the difference image obtained in this manner, exceeds a predetermined threshold value. That is, pixels that exceed the threshold are determined to be defective pixels, and pixels that do not exceed the threshold are determined to be normal pixels. Then, based on the total number of defective pixels thus obtained, it is determined whether the image sensor is good or bad.

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、このような隣接差分処理によっては欠陥
画素を正確に検出できないという問題点があった。例え
ばイメージセンサ中のある領域に欠陥があるような場合
、その欠陥領域の周縁部では偽欠陥画素を含む２つの欠
陥画素が検出されてしまい、それが白欠陥画素か黒欠陥
画素かの区別もつかない。また、白欠陥画素か黒欠陥画
素かを判断するための閾値は通常具なるほうが判断が正
確であるのにもかかわらず、異なる閾値を用いることは
できず、欠陥画素であるのに検出できなかったり、正常
画素であるのに欠陥として検出されたりしてしまった。(Problems to be Solved by the Invention) However, there is a problem in that defective pixels cannot be detected accurately by such adjacent difference processing. For example, if there is a defect in a certain area in an image sensor, two defective pixels including a false defective pixel will be detected at the periphery of the defective area, and it will be difficult to distinguish whether it is a white defective pixel or a black defective pixel. It's fleeting. In addition, although it is usually more accurate to use a threshold value for determining whether a pixel is a white defect or a black defect pixel, it is not possible to use a different threshold value, and the pixel cannot be detected even though it is a defective pixel. Or, the pixel was detected as defective even though it was a normal pixel.

本発明は上記事情を考慮してなされたもので、精度よく
イメージセンサ中の欠陥画素を検査することができるイ
メージセンサ検査装置及び方法を提供することを目的と
する。The present invention has been made in consideration of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an image sensor inspection apparatus and method that can accurately inspect defective pixels in an image sensor.

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 上記目的は、複数の画素を有するイメージセンサ中に欠
陥画素があるか否かを検査するイメージセンサ検査方法
において、イメージセンサの各画素の出力振幅を記憶す
る第１の過程と、近接する２つの画素中の一方の画素の
信号振幅を被減数とし他方の画素の信号振幅を減数とす
る減算をして信号振幅差を求める第１の差分処理を、イ
ーメジセンサの各画素に対して行ない、各画素に対する
信号振幅差を各要素とする第１の差分画像を形成する第
２の過程と、近接する２つの画素中の他方の画素の信号
振幅を被減数とし一方の画素の信号振幅を減数とする減
算をして信号振幅差を求める第２の差分処理を、イーメ
ジセンサの各画素に対して行ない、各画素の信号振幅差
を各要素とする第２の差分画像を形成する第３の過程と
、第１の差分画像及び第２の差分画像に基づいて、イメ
ージセンサ中の欠陥画素を検出する第４の過程とを有す
ることを特徴とするイメージセンサ検査方法によって達
成される。[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The above object is to provide an image sensor testing method for testing whether or not there is a defective pixel in an image sensor having a plurality of pixels. A first process of storing the output amplitude, and a first difference in which the signal amplitude difference is obtained by subtracting the signal amplitude of one pixel among two adjacent pixels as the minuend and the signal amplitude of the other pixel as the subtrahend. A second process in which the processing is performed on each pixel of the image sensor to form a first difference image in which each element is the signal amplitude difference for each pixel, and the signal amplitude of the other pixel among two adjacent pixels. A second difference process is performed for each pixel of the image sensor to obtain a signal amplitude difference by subtracting the signal amplitude of one pixel using the minuend and the signal amplitude of one pixel as the subtrahend. 2, and a fourth step of detecting a defective pixel in the image sensor based on the first difference image and the second difference image. This is accomplished by a sensor testing method.

また上記目的は、複数の画素を有するイメージセンサ中
に欠陥画素があるか否かを検査するイメージセンサ検査
装置において、イメ・−ジセンサの各画素の出力信号を
読出す続出手段と、続出手段により読出された各画素の
出力信号振幅を記憶する画素記憶手段と、近接する２つ
の画素中の一方の画素の信号振幅を被減数とし他方の画
素の信号振幅を減数とする減算をして信号振幅差を求め
る第１の差分処理を、イーメジセンサの各画素に対して
行なう第１の差分処理手段と、第１の差分処理手段によ
り求められた信号振幅差を各要素として記憶する第１の
差分画像記憶手段と、近接する２つの画素中の他方の画
素の信号振幅を被減数とし一方の画素の信号振幅を減数
とする減算をして信号振幅差を求める第２の差分処理を
、イーメジセンサの各画素に対して行なう第２の差分処
理手段と、第２の差分処理手段により求められた信号振
幅差を各要素として記憶する第２の差分画像記憶手段と
、第１の差分画像及び第２の差分画像に基づいて、イメ
ージセンサ中の欠陥画素を検出する欠陥画素検出手段と
を備えたことを特徴とするイメージセンサ検査装置によ
って達成される。The above object also provides an image sensor inspection device for inspecting whether or not there is a defective pixel in an image sensor having a plurality of pixels. A pixel storage means for storing the output signal amplitude of each read pixel, and a signal amplitude difference is calculated by subtracting the signal amplitude of one pixel among two adjacent pixels as the minuend and the signal amplitude of the other pixel as the subtrahend. a first difference processing means that performs a first difference processing for each pixel of the image sensor; and a first difference image storage that stores the signal amplitude difference obtained by the first difference processing means as each element. and a second difference process for obtaining a signal amplitude difference by subtracting the signal amplitude of the other pixel among two adjacent pixels as the minuend and the signal amplitude of one pixel as the subtrahend. a second difference processing means for storing the signal amplitude difference obtained by the second difference processing means as each element; and a first difference image and a second difference image. This is achieved by an image sensor inspection apparatus characterized in that it includes a defective pixel detection means for detecting a defective pixel in an image sensor.

（作　用） 本発明は以上のように構成されているので、イメージセ
ンサ中のある方向に並んだ画素列の各画素についての差
分処理を被減数と減数を逆にして少なくとも２回行なっ
ているので、少なくとも２つの差分画像が得られ、これ
ら２つの差分画像から欠陥画素か否かを判断するように
している。(Function) Since the present invention is configured as described above, the difference processing for each pixel in the pixel row arranged in a certain direction in the image sensor is performed at least twice with the minuend and subtrahend reversed. , at least two difference images are obtained, and it is determined from these two difference images whether the pixel is a defective pixel or not.

（実施例） 本発明の一実施例によるイメージセンサ検査装置を第１
図に示す。(Embodiment) An image sensor inspection apparatus according to an embodiment of the present invention is
As shown in the figure.

検査すべきイメージセンサ１０−Ｌには、均一な光によ
りこのイメージセンサ１０に照射するための光源１１が
設けられている。ＣＣＤ駆動部１２は光源１１を駆動す
るためのものである。アナログ信号処理部１３は、イメ
ージセンサ１０の各画素の検出信号である出力信号振幅
Ｐｎを読出して増幅するとともに次の段のＡ／Ｄ変換部
１４に適した電圧にするためのものである。Ａ／Ｄ変換
部１４はアナログ信号処理部１３からのアナログ信号を
量子化して所定のビット数のデジタル信号に変換する。The image sensor 10-L to be inspected is provided with a light source 11 for irradiating the image sensor 10 with uniform light. The CCD drive section 12 is for driving the light source 11. The analog signal processing section 13 is for reading out and amplifying the output signal amplitude Pn, which is a detection signal of each pixel of the image sensor 10, and for making it into a voltage suitable for the A/D conversion section 14 at the next stage. The A/D converter 14 quantizes the analog signal from the analog signal processor 13 and converts it into a digital signal with a predetermined number of bits.

Ａ／Ｄ変換部１４により変換されたデジタル信号である
各画素の信号振幅Ｐｎは各要素毎に原画像メモリ１５に
格納される。従って、原画像メモリ１５にはイメージセ
ンサ１０の各画素の信号振幅値が格納されることになる
。これらＣＣＤ駆動部１２、アナログ信号処理部１３、
Ａ／Ｄ変換部１４、原画像メモリ１５は、この装置全体
を制御する制御部３０により、信号出力タイミング等が
制御される。The signal amplitude Pn of each pixel, which is a digital signal converted by the A/D converter 14, is stored in the original image memory 15 for each element. Therefore, the signal amplitude value of each pixel of the image sensor 10 is stored in the original image memory 15. These CCD driving section 12, analog signal processing section 13,
The signal output timing and the like of the A/D converter 14 and the original image memory 15 are controlled by a controller 30 that controls the entire device.

第１の隣接差分処理部１６及びｆｊ２の隣接差分処理部
１８は、原画像メモリ１５に格納された各画素の信号振
幅Ｐｎを用いて隣接差分処理を行なう。第１の隣接差分
処理部１６は、信号振幅Ｐｎから次の一般式で示される
隣接差分処理を行ない、信号振幅差Ｑｎを求める。The first adjacent difference processing section 16 and the adjacent difference processing section 18 of fj2 perform adjacent difference processing using the signal amplitude Pn of each pixel stored in the original image memory 15. The first adjacent difference processing unit 16 performs adjacent difference processing expressed by the following general formula from the signal amplitude Pn to obtain a signal amplitude difference Qn.

信号振幅差Ｑｎ−信号振幅Ｐｎ −信号振幅Ｐ　ｎｉｌ また第２の隣接差分処理部１８は、信号振幅Ｐｎから次
の一般式で示される隣接差分処理を行ない、信号振幅差
Ｒｎを求める 信号振幅差Ｒｎ−信号振幅Ｐｎ −信号振幅Ｐｎ−１ このように、第１の隣接差分処理部１６と第２の隣接差
分処理部１８とは互いに逆方向の隣接差分処理を行なう
ことになる。即ち、第１の隣接差分処理部１６の隣接差
分処理では画素列２で画素へ〇の信号振幅Ｐｎが被減数
となると、この画素Ａｎの右側に隣接している画素Ａｎ
ａ１の信号振幅Ｐｎ＋１が減数となる。第２の隣接差分
処理部１８の隣接差分処理では画素列２で画素Ａｎの信
号振幅Ｐｎが被減数となると、この画素Ａｎの左側に隣
接している画素Ａ　ｎ−１の信号振幅Ｐｎ−１が減数と
なる。従って、信号振幅Ｐｎが第１図（ｂ）に示すよう
であると、信号振幅差Ｑｎは第１図（Ｃ）のようになり
、信号振幅差Ｒｎは第３図（ｄ）のようになる。第１の
隣接差分処理部１６により求められた信号振幅差Ｑｎは
各画素毎に第１の差分画像メモリ１７に格納され、第２
の隣接差分処理部１８により求められた信号振幅差Ｒｎ
は各画素毎に第２の差分画像メモリ１９に格納される。Signal amplitude difference Qn - Signal amplitude Pn - Signal amplitude P nil Further, the second adjacent difference processing section 18 performs adjacent difference processing expressed by the following general formula from the signal amplitude Pn to obtain the signal amplitude difference Rn. Rn - Signal amplitude Pn - Signal amplitude Pn-1 In this way, the first adjacent difference processing section 16 and the second adjacent difference processing section 18 perform adjacent difference processing in opposite directions. That is, in the adjacent difference processing of the first adjacent difference processing unit 16, when the signal amplitude Pn of 0 to a pixel in pixel column 2 becomes the minuend, the pixel An adjacent to the right side of this pixel An
The signal amplitude Pn+1 of a1 becomes the subtraction. In the adjacent difference processing of the second adjacent difference processing unit 18, when the signal amplitude Pn of the pixel An in pixel column 2 becomes the minuend, the signal amplitude Pn-1 of the pixel A n-1 adjacent to the left side of this pixel An is It becomes a subtraction. Therefore, if the signal amplitude Pn is as shown in FIG. 1(b), the signal amplitude difference Qn is as shown in FIG. 1(C), and the signal amplitude difference Rn is as shown in FIG. 3(d). . The signal amplitude difference Qn obtained by the first adjacent difference processing unit 16 is stored in the first difference image memory 17 for each pixel, and
The signal amplitude difference Rn obtained by the adjacent difference processing unit 18 of
is stored in the second difference image memory 19 for each pixel.

黒欠陥検出部２０は第１の差分画像メモリ１７及び第２
の差分画像メモリ１９の信号振幅差から黒欠陥画素を検
出する。黒欠陥閾値設定部２１１；はこの黒欠陥検出た
めの閾値を予め格納しておく。The black defect detection section 20 has a first differential image memory 17 and a second differential image memory 17.
A black defective pixel is detected from the signal amplitude difference in the differential image memory 19. The black defect threshold setting unit 211 stores in advance a threshold for detecting this black defect.

黒欠陥検出部２０による黒欠陥画素の検出は、第１の差
分画像メモリ１７及び第２の差分画像メモリ１９の信号
振幅差Ｑｎｓ信号振幅差Ｒｎに符号を反対にしたものが
閾値ｓｂより大きいか否かで判断する。即ち、−信号振
幅差Ｑｎ≧閾値ｓｂであれば黒欠陥画素とし、−信号振
幅差Ｒｎ≧閾値ｓｂであれば黒欠陥画素とする。黒欠陥
検出部２０の検出結果は第１黒欠陥画像メモリ２２及び
第２黒欠陥画像メモリ２３に格納される。本実施例では
、黒欠陥画素と判断された画素の対応する第１黒欠陥画
像メモリ２２及び第２黒欠陥画像メモリ２３の記憶位置
に「１」を格納し、正常画素と判断された画素の対応す
る第１黒欠陥画像メモリ２２及び第２黒欠陥画像メモリ
２３の記憶位置に「０」を格納する。The black defect detection unit 20 detects a black defect pixel by determining whether the signal amplitude difference Qns between the first differential image memory 17 and the second differential image memory 19 and the signal amplitude difference Rn with opposite signs is greater than the threshold value sb. Judge whether or not. That is, if -signal amplitude difference Qn≧threshold sb, the pixel is determined to be a black defective pixel, and if -signal amplitude difference Rn≧threshold sb, it is determined to be a black defective pixel. The detection results of the black defect detection section 20 are stored in the first black defect image memory 22 and the second black defect image memory 23. In this embodiment, "1" is stored in the storage location of the first black defect image memory 22 and the second black defect image memory 23 corresponding to the pixel determined to be a black defective pixel, and "1" is stored in the storage location of the pixel determined to be a normal pixel. "0" is stored in the corresponding storage locations of the first black defect image memory 22 and the second black defect image memory 23.

従って、本実施例では第３図（ｅ）　、（ｆ’）に示す
ように、第１黒欠陥画像メモリ２２には画素Ａｎ〜画素
Ａ　ｎ＋６に対応して「０．１．０．１．０．０１０」
が格納され、第２黒欠陥画像メモリ２３には画素Ａｎ〜
画素Ａ　ｎ＋Ｇに対応して「０．１．０．０．０．１．
０」が格納される。Therefore, in this embodiment, as shown in FIGS. 3(e) and 3(f'), the first black defect image memory 22 stores "0.1.0.1. 0.010"
are stored in the second black defect image memory 23, and pixels An~
Corresponding to pixel A n+G, “0.1.0.0.0.1.
0" is stored.

白欠陥検出部２４は第１の差分画像メモリ１７及び第２
の差分画像メモリ１つの信号振幅差から白欠陥画素を検
出する。白欠陥閾値設定部２５にはこの白欠陥検出ため
の閾値Ｓｖを予め格納しておく。白欠陥検出部２４によ
る白欠陥画素の検出は、第１の差分画像メモリ１７及び
第２の差分画像メモリ１９の信号振幅差Ｑｎ、信号振幅
差Ｒｎが閾値Ｓｖより大きいか否かで判断する。即ち、
信号振幅差Ｑｎ≧閾値Ｓνであれば白欠陥画素とし、信
号振幅差Ｒｎ≧閾値Ｓｖであれば白欠陥画素とする。白
欠陥検出部２４の検出結果は第１自欠陥画像メモリ２６
及び第２白欠陥画像メモリ２７に格納される。本実施例
では、白欠陥画素と判断された画素の対応する第１白欠
陥画像メモリ２６及び第２白欠陥画像メモリ２７の記憶
位置に「１」を格納し、正常画素と判断された画素の対
応する第１白欠陥画像メモリ２６及び第２白欠陥画像メ
モリ２７の記憶位置に「０」を格納する。The white defect detection unit 24 includes the first difference image memory 17 and the second difference image memory 17.
A white defect pixel is detected from the difference in signal amplitude of one differential image memory. The white defect threshold setting unit 25 stores in advance a threshold value Sv for detecting this white defect. Detection of a white defect pixel by the white defect detection unit 24 is determined based on whether the signal amplitude difference Qn and the signal amplitude difference Rn between the first difference image memory 17 and the second difference image memory 19 are larger than a threshold value Sv. That is,
If the signal amplitude difference Qn≧threshold value Sv, the pixel is determined to be a white defective pixel, and if the signal amplitude difference Rn≧threshold value Sv, the pixel is determined to be a white defective pixel. The detection results of the white defect detection unit 24 are stored in the first self-defect image memory 26.
and stored in the second white defect image memory 27. In this embodiment, "1" is stored in the storage location of the first white defect image memory 26 and the second white defect image memory 27 corresponding to the pixel determined to be a white defect pixel, and "1" is stored in the storage location of the pixel determined to be a normal pixel. "0" is stored in the corresponding storage locations of the first white defect image memory 26 and the second white defect image memory 27.

従って、本実施例では第３図（ｈ）　、（ｇ）に示すよ
うに、第１白欠陥画像メモリ２６には画素Ａｎ〜画素Ａ
　ｎ＋８に対応して「１．０．０．０．１．０、Ｏ」が
格納され、第２自欠陥画像メモリ２７には画素Ａｎ〜画
素Ａ　ｎ＋６に対応して「０．０．１．０．１．０．０
」が格納される。Therefore, in this embodiment, as shown in FIGS. 3(h) and 3(g), the first white defect image memory 26 includes pixels An to A.
“1.0.0.0.1.0, O” is stored corresponding to n+8, and “0.0.1. 0.1.0.0
" is stored.

ＡＮＤゲート２８は第１黒欠陥画像メモリ２２と第２黒
欠陥画像メモリ２３から真の欠陥画素を求めるためのも
のである。第１黒欠陥画像メモリ２２と第１黒欠陥画像
メモリ２２の内容をそれぞれ対応する画素の検出結果を
ＡＮＤゲート２８により論理積して真の欠陥画素を求め
、その結果を再び第１黒欠陥画像メモリ２２に格納する
。本実施例では、第３図（ｅ）と（「）の論理積は第３
図（ｇ）のように［０，１，０，０，０，０，０」とな
り、画素Ａｎａ１が黒欠陥画素であることがわかる。The AND gate 28 is for finding a true defective pixel from the first black defect image memory 22 and the second black defect image memory 23. The detection results of the pixels corresponding to the contents of the first black defect image memory 22 and the first black defect image memory 22 are logically ANDed by the AND gate 28 to obtain the true defective pixel, and the result is used again as the first black defect image. The data is stored in the memory 22. In this example, the logical product of FIG. 3(e) and ('') is the third
[0,1,0,0,0,0,0'' as shown in Figure (g), indicating that the pixel Ana1 is a black defective pixel.

ＡＮＤゲート２９は第１白欠陥画像メモリ２６と第２白
欠陥画像メモリ２７から真の欠陥画素を求めるためのも
のである。第１白欠陥画像メモリ２６と第２白欠陥画像
メモリ２７の内容をそれぞれ対応する画素の検出結果を
ＡＮＤゲート２９により論論理積して真の欠陥画素を求
め、その結果を再び第１白欠陥画像メモリ２６に格納す
る。本実施例では、第３図（ｈ）と（１）の論理積は第
３図（ｊ）のように「０．０．０．０．１．０．０」と
なり、画素Ａ　ｎ＋４が白欠陥画素であることがわかる
。The AND gate 29 is for finding a true defective pixel from the first white defect image memory 26 and the second white defect image memory 27. The detection results of the pixels corresponding to the contents of the first white defect image memory 26 and the second white defect image memory 27 are logically ANDed by an AND gate 29 to obtain a true defective pixel, and the result is used again for the first white defect. The image is stored in the image memory 26. In this example, the logical product of FIG. 3(h) and (1) is "0.0.0.0.1.0.0" as shown in FIG. 3(j), and pixel A n+4 is white. It can be seen that this is a defective pixel.

次に本発明の動作について第４図のフローチャートを用
いて説明する。Next, the operation of the present invention will be explained using the flowchart shown in FIG.

先ず検査すべきイメージセンサ１０を設置し、光源１１
からこのイメージセンサ１０に均一な光を照射する。次
にイメージセンサ１０をＣＣＤ駆動部１２により駆動し
くステップ５１）、アナログ信号処理部１３によりイメ
ージセンサ１０から信号振幅Ｐｎを読出す（ステップ５
１）。アナログ信号処理部１３から出力されるアナログ
信号の信号振幅ＰｎをＡ／Ｄ変換部１４によりＡ／Ｄ変
換しくステップ５２）　、Ａ／Ｄ変換されたデジタル信
号の信号振幅Ｐｎは順次原画像メモリ１５に格納される
（ステップ５３）。First, the image sensor 10 to be inspected is installed, and the light source 11 is
The image sensor 10 is irradiated with uniform light. Next, the image sensor 10 is driven by the CCD drive section 12 (step 51), and the analog signal processing section 13 reads out the signal amplitude Pn from the image sensor 10 (step 5).
1). The signal amplitude Pn of the analog signal output from the analog signal processing section 13 is A/D converted by the A/D converter 14 (step 52), and the signal amplitude Pn of the A/D converted digital signal is sequentially stored in the original image memory 15. (step 53).

次に原画像メモリ１５に格納された各画素の信号振幅Ｐ
ｎに対して第１の隣接差分処理部１６により上述の隣接
差分処理が行なわれる（ステップ５４）。第１の隣接差
分処理部１６による隣接差分処理の結果である信号振幅
差Ｑｎは第１の差分画像メモリ１７に格納される（ステ
ップ５５）。Next, the signal amplitude P of each pixel stored in the original image memory 15
The above-described adjacent difference processing is performed on n by the first adjacent difference processing unit 16 (step 54). The signal amplitude difference Qn, which is the result of the adjacent difference processing by the first adjacent difference processing unit 16, is stored in the first difference image memory 17 (step 55).

この隣接差分処理は原画像メモリ１５に格納された全て
の画素について終了するまで繰返し行われる（ステップ
５６）。同様にして、原画像メモリ１５に格納された各
画素の信号振幅Ｐｎに対して第２の隣接差分処理部１８
により上述の隣接差分処理が行なわれる（ステップ５７
）。第２の隣接差分処理部１８による隣接差分処理の結
果である信号振幅差Ｒｎは第２の差分画像メモリ１９に
格納される（ステップ５８）。この隣接差分処理は原画
像メモリ１５に格納された全ての画素について終了する
まで繰返し行われる（ステップ５９）。This adjacent difference processing is repeated until it is completed for all pixels stored in the original image memory 15 (step 56). Similarly, the second adjacent difference processing unit 18 processes the signal amplitude Pn of each pixel stored in the original image memory 15.
The above-mentioned adjacent difference processing is performed (step 57
). The signal amplitude difference Rn, which is the result of the adjacent difference processing by the second adjacent difference processing unit 18, is stored in the second difference image memory 19 (step 58). This adjacent difference processing is repeated until it is completed for all pixels stored in the original image memory 15 (step 59).

次に黒欠陥検出部２０が第１の差分画像メモリ１７に格
納された信号振幅差Ｑｎに対して、黒欠陥閾値設定部２
１に設定された閾値ｓｂを用いて黒欠陥検出を行なう（
ステップ６０）。各画素に対する黒検出結果は第１黒欠
陥画像メモリ２２に格納される。全ての画素に対する黒
欠陥検出が終了すると、黒欠陥検出部２０は第２の差分
画像メモリ１９に格納された信号振幅差Ｒｎに対して、
黒欠陥閾値設定部２１に設定された閾値ｓｂを用いて黒
欠陥検出を行なう（ステップ６１）。各画素に対する黒
検出結果は第２黒欠陥画像メモリ２３に格納される。全
ての画素に対する黒欠陥検出が終了すると、への黒欠陥
画素を検出するために、ＡＮＤゲート２８により、第１
黒欠陥画像メモリ２２に格納された黒欠陥検出結果と、
第２黒欠陥画像メモリ２３に格納された黒欠陥検出結果
との論理積をとり、その結果を第１黒欠陥画像メモリ２
２に格納する（ステップ６２）。全ての画素に対してこ
の処理が終了すると、第１黒欠陥画像メモリ２２には真
の黒欠陥画素か否かの情報が格納されていることになる
。Next, the black defect detection unit 20 uses the signal amplitude difference Qn stored in the first difference image memory 17 to determine the black defect threshold setting unit 2.
Black defect detection is performed using the threshold value sb set to 1 (
Step 60). The black detection result for each pixel is stored in the first black defect image memory 22. When the black defect detection for all pixels is completed, the black defect detection unit 20 calculates the signal amplitude difference Rn stored in the second difference image memory 19 as follows.
Black defect detection is performed using the threshold value sb set in the black defect threshold setting unit 21 (step 61). The black detection result for each pixel is stored in the second black defect image memory 23. When the black defect detection for all pixels is completed, the AND gate 28 is used to detect the first black defect pixel.
The black defect detection results stored in the black defect image memory 22;
A logical AND is performed with the black defect detection result stored in the second black defect image memory 23, and the result is used as the logical product in the first black defect image memory 2.
2 (step 62). When this process is completed for all pixels, the first black defect image memory 22 will have stored information as to whether the pixel is a true black defect pixel or not.

次に白欠陥検出部２４が第１の差分画像メモリ１７に格
納された信号振幅差Ｑｎに対して、白欠陥閾値設定部２
５に設定された閾値Ｓｖを用いて白欠陥検出を行なう（
ステップ６３）。各画素に対する巾検出結果は第１白欠
陥画像メモリ２６に格納される。全ての画素に対する白
欠陥検出が終了すると、白欠陥検出部２４は第２の差分
画像メモリ１９に格納された信号振幅差Ｒｎに対して、
白欠陥閾値設定部２５に設定された閾値Ｓｖを用いて白
欠陥検出を行なう（ステップ６４）。各画素に対する巾
検出結果は第２白欠陥画像メモリ２７に格納される。全
ての画素に対するｈ欠陥検出が終了すると、真の白欠陥
画素を検出するために、ＡＮＤゲート２９により、第１
白欠陥画像メモリ２６に格納された白欠陥検出結果と、
第２白欠陥画像メモリ２７に格納された白欠陥検出結果
との論理積をとり、その結果を第１白欠陥画像メモリ２
６に格納する（ステップ６５）。全ての画素に対してこ
の処理が終了すると、第２白欠陥画像メモリ２７には真
の白欠陥画素か否かの情報が格納されていることになる
。Next, the white defect detection unit 24 uses the signal amplitude difference Qn stored in the first difference image memory 17 to determine whether the white defect threshold setting unit 2
White defect detection is performed using the threshold value Sv set to 5 (
Step 63). The width detection result for each pixel is stored in the first white defect image memory 26. When the white defect detection for all pixels is completed, the white defect detection unit 24 calculates the signal amplitude difference Rn stored in the second difference image memory 19.
White defect detection is performed using the threshold value Sv set in the white defect threshold setting unit 25 (step 64). The width detection result for each pixel is stored in the second white defect image memory 27. When the h-defect detection for all pixels is completed, the AND gate 29 causes the first
White defect detection results stored in the white defect image memory 26;
A logical AND operation is performed with the white defect detection result stored in the second white defect image memory 27, and the result is used in the first white defect image memory 2.
6 (step 65). When this process is completed for all pixels, the second white defect image memory 27 will have stored information as to whether the pixel is a true white defect pixel or not.

最後に第１黒欠陥画像メモリ２２に格納された真の黒欠
陥画素に関する情報と第１白欠陥画像メモリ２６に格納
された真の白欠陥画素に関する情報から、検査している
イメージセンサ１０が良品か否かを決定する（ステップ
６６）。例えば、黒欠陥画素と白欠陥画素の合計値が所
定の値に達しなければ良品であるとする。欠陥画素の分
布状態を考慮してもよい。Finally, based on the information regarding the true black defect pixels stored in the first black defect image memory 22 and the information regarding the true white defect pixels stored in the first white defect image memory 26, it is determined that the image sensor 10 being inspected is a non-defective one. It is determined whether or not (step 66). For example, it is assumed that if the total value of the black defective pixel and the white defective pixel does not reach a predetermined value, it is a good product. The distribution state of defective pixels may also be considered.

このように本実施例によれば、隣接差分処理であるため
正確に欠陥が検出できる、例えば従来、画素の信号振幅
Ｐｎの平均値を求め、各画素の信号振幅Ｐｎがこの平均
値からどの位ずれているかにより欠陥のを無を判断する
方法があったが、この方法では平均値を求める際に欠陥
画素の信号振幅Ｐｎが影響を及ぼしてしまうという聞届
があったが、本実施例では隣接差分処理であるためかか
る問題はない。また本実施例では方向が反対の２種の隣
接差分処理を行なっているため、正常な画素を欠陥画素
と誤ることがない。また黒欠陥画素検出のための閾値と
白欠陥画素検出のための閾値とを異ならせることができ
、より正確な欠陥画素検出が可能である。In this way, according to this embodiment, defects can be detected accurately because it is an adjacent difference process.For example, in the conventional method, the average value of the signal amplitude Pn of each pixel is calculated, and the signal amplitude Pn of each pixel is calculated from this average value. There has been a method of determining whether there is a defect or not based on whether or not there is a deviation, but it has been reported that with this method, the signal amplitude Pn of the defective pixel has an influence when calculating the average value. There is no such problem because it is an adjacent difference process. Furthermore, in this embodiment, since two types of adjacent difference processing in opposite directions are performed, a normal pixel is not mistaken as a defective pixel. Further, the threshold value for detecting black defective pixels and the threshold value for detecting white defective pixels can be made different, and more accurate defective pixel detection is possible.

本発明は上記実施例に限らず種々の変形が可能である。The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and various modifications are possible.

例えば、上記実施例では差分処理において隣接する画素
の信号振幅Ｐｎの信号振幅差ＱｎｓＲｎから欠陥を検出
していたが、直接隣接していなくとも、１つおいて隣の
画素と差分処理を行なうとか、２つおいて隣の画素と差
分処理を行なうとか、必ずしも直接隣でなくとも近接し
た画素同士について差分処理を行なうものであればよい
。For example, in the above embodiment, a defect is detected from the signal amplitude difference QnsRn between the signal amplitudes Pn of adjacent pixels in differential processing, but it is also possible to perform differential processing with adjacent pixels, even if they are not directly adjacent. , the difference processing may be performed on two adjacent pixels, or the difference processing may be performed on adjacent pixels, not necessarily directly adjacent pixels.

また、真の欠陥画素についてのメモリを黒欠陥画像メモ
リと別に設けてもよい。逆に欠陥画素を計数するカウン
タを設は真の欠陥画素についてはあらためてメモリに記
憶することなくこのカウンタにより計数するようにして
もよい。更に検査されるイメージセンサは２次元イメー
ジセンサに限らず１次元イメージセンサでもよく、カラ
ーイメージセンサでもよい。Furthermore, a memory for true defective pixels may be provided separately from the black defect image memory. Conversely, if a counter is provided to count defective pixels, the counter may be used to count true defective pixels without storing them in the memory. Furthermore, the image sensor to be inspected is not limited to a two-dimensional image sensor, but may be a one-dimensional image sensor or a color image sensor.

〔発明の効果コ 以上のとうり本発明によれば、精度よく欠陥画素を検出
することができる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, defective pixels can be detected with high accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は本発明の一実施例によるイメージセンサ検査装
置のブロック図、第２図、第３図は同イメージセンサ検
査装置の検査原理を説明するための図、第４図は同イメ
ージセンサ検査装置の動作を示すフローチャートである
。 １０・・・イメージセンサ、１１・・・光源、１２・・
・ＣＣＤ駆動部、１３・・・アナログ信号処理部、１４
・・・Ａ／Ｄ変換部、１５・・・原画像メモリ、１６・
・・第１の隣接差分処理部、１７・・・第１の差分画像
メモリ、１８・・・第２の隣接差分処理部、１９・・・
第２の差分画像メモリ、２０・・・黒欠陥検出部、２１
・・・黒欠陥閾値設定部、２２・・・第１黒欠陥画像メ
モリ、２３・・・第２黒欠陥画像メモリ、２４・・・白
欠陥検出部、２５・・・白欠陥閾値設定部、２６・・・
第１白欠陥画像メモリ、２７・・・第２自欠陥画像メモ
リ、２８・・・ＡＮＤゲート、２９・・・ＡＮＤゲート
、３０・・・制御部。 出願人代理人　　佐　　藤　　−雄 手続補正書坊式） 昭和６２年７月２３日FIG. 1 is a block diagram of an image sensor inspection device according to an embodiment of the present invention, FIGS. 2 and 3 are diagrams for explaining the inspection principle of the image sensor inspection device, and FIG. 4 is a block diagram of the image sensor inspection device according to an embodiment of the present invention. 3 is a flowchart showing the operation of the device. 10... Image sensor, 11... Light source, 12...
- CCD drive section, 13...analog signal processing section, 14
. . . A/D conversion section, 15 . . . Original image memory, 16.
...First adjacent difference processing unit, 17...First difference image memory, 18...Second adjacent difference processing unit, 19...
Second differential image memory, 20...black defect detection section, 21
. . . black defect threshold setting unit, 22 . . . first black defect image memory, 23 . . . second black defect image memory, 24 . 26...
First white defect image memory, 27... Second own defect image memory, 28... AND gate, 29... AND gate, 30... Control unit. Applicant's agent Sato - Male procedure amendment filing ceremony) July 23, 1986