WO2022196046A1 - Tempered glass plate and method for producing tempered glass plate - Google Patents

A method for producing a tempered glass plate including a tempering step for obtaining a tempered glass plate 1 having compressive stress layers 5, 6 formed on both the front and back by chemically tempering a flexible glass plate, wherein the tempered glass plate 1 includes a warped section 4 warped so that either the front or back surface 2,3 is convex and the method also includes a removal step to reduce warpage by removing the surface layer portion of the compressive stress layer 5 on the front surface 2 side (convex side) in the warped section 4.

強化ガラス板および強化ガラス板の製造方法Tempered glass sheet and method for producing tempered glass sheet

　本開示は、強化ガラス板および強化ガラス板の製造方法に関する。 The present disclosure relates to a tempered glass sheet and a method for manufacturing the tempered glass sheet.

　近年、スマートフォンやタブレットＰＣ等の携帯用電子デバイスにおいて、画面の大型化が推進されている。しかしながら、画面を大型化させるとデバイス全体が大きくなって携帯性が悪化してしまう。そこで、大画面と良好な携帯性とを両立させるべく、折り畳みが可能なフォルダブルデバイスが提案されている。 In recent years, there has been a trend toward larger screens in portable electronic devices such as smartphones and tablet PCs. However, if the screen is enlarged, the device as a whole will become larger and the portability will deteriorate. Therefore, in order to achieve both a large screen and good portability, a foldable device has been proposed.

　フォルダブルデバイス用のカバーガラスとしては、例えば、特許文献１に開示されるような超薄型の強化ガラス板（一例として厚みが１００μｍ以下）が採用される。当該強化ガラス板は、可撓性を有する超薄型のガラス板を化学強化することで製造される。 As a cover glass for a foldable device, for example, an ultra-thin tempered glass plate (with a thickness of 100 μm or less as an example) disclosed in Patent Document 1 is adopted. The tempered glass plate is manufactured by chemically strengthening a flexible, ultra-thin glass plate.

　ところで、上述のごとくガラス板を化学強化する場合、強化の対象となるガラス板の厚みが薄いほど、強化ガラス板に大きな反り（表裏面の一方が凸となる反り）が発生しやすいという問題があった。このような事情に鑑みて解決すべき技術的課題は、厚みが薄くとも反りの小さい強化ガラス板を実現することである。 By the way, when a glass plate is chemically strengthened as described above, the thinner the glass plate to be strengthened, the more likely the tempered glass plate is to warp greatly (warp in which one of the front and back surfaces is convex). there were. In view of such circumstances, a technical problem to be solved is to realize a tempered glass sheet having a small thickness and a small warp.

　発明者は鋭意研究の結果、強化の対象となるガラス板の厚みが薄いほど、強化ガラス板に大きな反りが発生しやすくなる要因として、以下の理由を知見するに至った。すなわち、化学強化に際してガラス板の表面側と裏面側との間では強化の程度に差（以下、「表裏間強化差」と表記する）が生じる場合がある。表裏間強化差が生じる原因の一例としては、化学強化に用いる溶融塩（強化液）からガラスを引き上げる際の溶融塩の付着状態のむらや、強化時の温度分布のばらつき等が挙げられる。そして、強化の対象となるガラス板の厚みが薄いほど、その曲げ剛性も小さくなることから、表裏間強化差により強化ガラス板に大きな反りが発生しやすくなる。 As a result of intensive research, the inventors have found the following reasons for the fact that the thinner the glass sheet to be tempered, the more likely it is to warp. That is, during chemical strengthening, there may be a difference in the degree of strengthening between the front side and the back side of the glass plate (hereinafter referred to as "difference in strengthening between the front and back sides"). Examples of the cause of the difference in strength between the front and back surfaces include uneven adhesion of the molten salt (strengthening liquid) used for chemical strengthening when the glass is pulled up, and uneven temperature distribution during strengthening. As the thickness of the glass sheet to be strengthened decreases, the bending rigidity of the glass sheet decreases. Therefore, the tempered glass sheet tends to warp greatly due to the difference in strengthening between the front and back surfaces.

　さらに、発明者は鋭意研究の結果、（１）表裏間強化差は、化学強化に伴ってガラス板の表裏両側にそれぞれ形成される圧縮応力層の深さの差、或いは最大圧縮応力値の差となって表れ、表裏間で強化の程度が大きい側において圧縮応力層がより深く、或いは最大圧縮応力値が大きくなること、（２）表裏間で強化の程度が大きい側が発生した反りの凸側となること、を知見するに至った。 Furthermore, as a result of intensive research by the inventor, (1) the difference in strengthening between the front and back is the difference in the depth of the compressive stress layers formed on both the front and back sides of the glass plate due to chemical strengthening, or the difference in the maximum compressive stress value , and the compressive stress layer is deeper or the maximum compressive stress value is larger on the side with a large degree of strengthening between the front and back, (2) the convex side of the warp that occurred on the side with a large degree of strengthening between the front and back I came to know that

　上記の知見に基づいて、上記の課題を解決するための強化ガラス板の製造方法は、可撓性を有するガラス板を化学強化することで表裏両側にそれぞれ圧縮応力層が形成された強化ガラス板を得る強化工程、を含んだ方法であって、強化ガラス板が、表裏面の一方が凸となるように反った反り部を含み、反り部における凸面側の圧縮応力層の表層部を除去することで反りを小さくする除去工程、を更に含むことを特徴とする。 Based on the above findings, a method for manufacturing a tempered glass sheet for solving the above problems is a tempered glass sheet in which a compressive stress layer is formed on each of the front and back sides by chemically strengthening a flexible glass sheet. wherein the tempered glass sheet includes a warped portion warped so that one of the front and back surfaces is convex, and the surface layer of the compressive stress layer on the convex side of the warped portion is removed. and a removing step of reducing the warpage.

　本方法においては、除去工程の実行に伴って、反り部における凸面側の圧縮応力層の表層部を除去する。つまり、表裏間で強化の程度が大きい側の圧縮応力層の深さ、或いは表面最大圧縮応力値を減じるように処置を施す。これにより、表裏間での圧縮応力層の深さ或いは最大圧縮応力値の差を小さくでき、ひいては表裏間強化差を小さくすることが可能となる。その結果、厚みが薄くて曲げ剛性が小さい強化ガラス板であっても、その反りを小さくすることができる。以上のことから、本方法によれば、厚みが薄くとも反りの小さい強化ガラス板が得られる。 In this method, the surface layer portion of the compressive stress layer on the convex side of the warped portion is removed as the removal step is performed. In other words, the depth of the compressive stress layer on the side with the greater degree of strengthening between the front and back or the surface maximum compressive stress value is reduced. As a result, the difference in the depth of the compressive stress layer or the maximum compressive stress value between the front and back surfaces can be reduced, and thus the difference in strengthening between the front and back surfaces can be reduced. As a result, even a tempered glass sheet having a small thickness and a small bending rigidity can be reduced in warpage. As described above, according to the present method, a tempered glass sheet having a small thickness and a small warp can be obtained.

　上記の方法では、反り部における凸面上の一部の領域のみにエッチング又は研磨加工を施すことにより、一部の領域に対応する圧縮応力層の表層部を除去してもよい。 In the above method, the surface layer of the compressive stress layer corresponding to the partial area may be removed by etching or polishing only the partial area on the convex surface of the warped portion.

　このようにすれば、凸面上の全領域ではなく、一部の領域のみにエッチング又は研磨加工を施せばよいことから、その分だけ迅速に除去工程を完了させることが可能となる。また、除去工程に要するコストについても抑制できる。 In this way, etching or polishing only needs to be performed on a part of the convex surface rather than on the entire area, which makes it possible to complete the removal process more quickly. Moreover, the cost required for the removal process can also be suppressed.

　上記の方法では、強化ガラス板を縦姿勢で吊り下げ支持した状態でエッチングを施すことが好ましい。 In the above method, etching is preferably performed while the tempered glass plate is suspended and supported in a vertical position.

　このようにすれば、強化ガラス板を縦姿勢で吊り下げ支持したことにより、平置き姿勢で水平面上に載置するような場合とは異なり、重力の影響で反りの形状が本来の形状から変形してしまうような恐れを排除できる。つまり、反りの本来の形状を露わにした状態で除去工程を実行することが可能となる。これにより、除去工程を的確に実行する上で有利となる。 In this way, by suspending and supporting the tempered glass plate in a vertical position, unlike the case where the tempered glass plate is placed on a horizontal surface in a flat position, the shape of the warp is deformed from the original shape due to the influence of gravity. You can eliminate the fear of doing so. In other words, it becomes possible to perform the removal step in a state in which the original shape of the warp is exposed. This is advantageous in accurately performing the removal process.

　上記の方法では、反り部における凸面の頂点を含んだ領域にエッチングを施すことが好ましい。 In the above method, it is preferable to etch a region including the vertex of the convex surface in the warped portion.

　反り部における凸面の頂点は、表裏間強化差が最大になっている部位に対応している傾向が強い。そのため、凸面の頂点を含んだ領域にエッチングを施すようにすれば、効果的に反りを小さくできる。 The apex of the convex surface in the warped part has a strong tendency to correspond to the part where the difference in strengthening between the front and back sides is the largest. Therefore, by etching the region including the apex of the convex surface, the warpage can be effectively reduced.

　上記の方法では、強化ガラス板が反り部を複数含み、複数の反り部の中には、強化ガラス板の表面が凸となった反り部と、裏面が凸となった反り部と、が含まれていてもよい。 In the above method, the tempered glass sheet includes a plurality of warped portions, and among the plurality of warped portions, the tempered glass sheet includes a warped portion having a convex surface and a warped portion having a convex back surface. It may be

　この場合、除去工程の実行に伴い、表面が凸となった反り部と、裏面が凸となった反り部との双方において、その反りを小さくする。これにより、強化ガラス板の全体の反りを小さくすることが可能となる。 In this case, along with the execution of the removing process, the warp is reduced in both the warped portion with the convex surface and the warped portion with the convex back surface. This makes it possible to reduce the overall warpage of the tempered glass sheet.

　上記の方法では、エッチング液を保持可能な平坦面を備えたエッチング部材を用いて、反り部における凸面上の一部の領域と、エッチング部材の平坦面と、を接触させてエッチングを施すことが好ましい。 In the above method, etching may be performed by using an etching member having a flat surface capable of holding an etchant, and bringing the flat surface of the etching member into contact with a partial region on the convex surface of the warped portion. preferable.

　このようにすれば、凸面上の全領域ではなく、一部の領域のみにエッチングを施す上で、当該処置を簡易かつ確実に行うことができる。 By doing so, it is possible to easily and reliably perform the treatment when etching only a part of the convex surface instead of the entire area.

　上記の方法では、エッチング部材の平坦面の面積を、強化ガラス板の面積以上にすることが好ましい。 In the above method, it is preferable that the area of the flat surface of the etching member is equal to or larger than the area of the tempered glass plate.

　このようにすれば、強化ガラス板に含まれたエッチングの対象となる各領域に対し、確実に同時進行でエッチングを施すことが可能となるため、より迅速に除去工程を完了させることができる。 By doing so, it is possible to reliably perform simultaneous etching on the regions included in the tempered glass plate that are to be etched, so that the removal process can be completed more quickly.

　上記の方法では、エッチング部材が、エッチング液を含浸させたスポンジ状部材であり、エッチング液が、ＨＦ又はＨＦを含んだ混酸、を含むことが好ましい。 In the above method, the etching member is a sponge-like member impregnated with an etchant, and the etchant preferably contains HF or a mixed acid containing HF.

　このようにすれば、スポンジ状部材にエッチング液が含浸されているため、除去工程を実行する度に、逐一エッチング部材に対してエッチング液を供給するような手間を省くことが可能となる。また、エッチング液が、ＨＦ又はＨＦを含んだ混酸、を含むことにより、エッチングを効率よく行うことができる。 In this way, since the sponge-like member is impregnated with the etchant, it is possible to save the trouble of supplying the etchant to the etching member each time the removing process is performed. Moreover, etching can be performed efficiently by including HF or a mixed acid containing HF in the etchant.

　上記の方法では、強化ガラス板の全体が単一の反り部からなる場合には、反り部における凸面の全領域にエッチング又は研磨加工を施すことにより、全領域に対応する圧縮応力層の表層部を除去してもよい。 In the above method, when the entire tempered glass sheet consists of a single warped portion, the surface layer portion of the compressive stress layer corresponding to the entire region is etched or polished by etching or polishing the entire region of the convex surface of the warped portion. may be removed.

　この場合、強化ガラス板の全体において表裏面の一方が凸となっている状態の下、凸面の全領域にエッチング又は研磨加工を施せばよいことから、除去工程における処置を簡易にすることが可能となる。 In this case, under the condition that one of the front and back surfaces of the entire tempered glass sheet is convex, etching or polishing may be performed on the entire area of the convex surface, so it is possible to simplify the treatment in the removal process. becomes.

　上記の方法では、除去工程前における凸面側の圧縮応力層の最大深さをＤＯＣとし、除去工程で除去される圧縮応力層の表層部の厚みをΔｔとしたとき、Δｔ≦０．８×ＤＯＣを満たすことが好ましい。 In the above method, when the maximum depth of the compressive stress layer on the convex side before the removing step is DOC, and the thickness of the surface layer portion of the compressive stress layer removed in the removing step is Δt, Δt≦0.8×DOC. is preferably satisfied.

　このようにすれば、圧縮応力層を不当に消失させることなく、除去工程による反りを小さくする効果を享受することが可能となる。 By doing so, it is possible to enjoy the effect of reducing the warpage due to the removal process without unduly losing the compressive stress layer.

　上記の方法では、除去工程前における強化ガラス板の厚みが１００μｍ以下であり、除去工程後における強化ガラス板の反り量が１ｍｍ以下であることが好ましい。 In the above method, it is preferable that the tempered glass sheet has a thickness of 100 µm or less before the removal step, and that the tempered glass sheet has a warpage amount of 1 mm or less after the removal step.

　上述のとおり、厚みが薄いほど強化ガラス板に大きな反りが発生しやすい。従って、除去工程前における厚みが１００μｍ以下であるような超薄型の強化ガラス板を対象として除去工程を実行すれば、その効果を好適に享受できる。そして、除去工程後における強化ガラス板の反り量が１ｍｍ以下であれば、フォルダブルデバイスのカバーガラス等として好適な強化ガラス板とすることが可能である。 As mentioned above, the thinner the tempered glass sheet, the more likely it is to warp. Therefore, if the removal process is performed on an ultra-thin tempered glass sheet having a thickness of 100 μm or less before the removal process, the effect can be favorably received. If the amount of warpage of the tempered glass sheet after the removing step is 1 mm or less, it is possible to make the tempered glass sheet suitable as a cover glass of a foldable device or the like.

　さらに、上記の課題を解決するための強化ガラス板は、厚みが１００μｍ以下の強化ガラス板であって、表裏面の一方が凸となるように反った反り部を含み、反り部における凸面上の少なくとも一部の領域にエッチングが施された処理領域を有し、当該強化ガラス板の反り量が１ｍｍ以下であることを特徴とする。 Furthermore, a tempered glass plate for solving the above problems is a tempered glass plate having a thickness of 100 μm or less, including a warped portion in which one of the front and back surfaces is convex, and on the convex surface of the warped portion At least a part of the tempered glass plate has a treated region that is etched, and the tempered glass plate has a warpage amount of 1 mm or less.

　本強化ガラス板は、厚みが１００μｍ以下の超薄型の強化ガラス板であるにも関わらず、反り量が１ｍｍ以下に抑制されている。このため、フォルダブルデバイスのカバーガラス等として好適に採用することが可能である。 Although this tempered glass sheet is an ultra-thin tempered glass sheet with a thickness of 100 μm or less, the amount of warpage is suppressed to 1 mm or less. Therefore, it can be suitably used as a cover glass of a foldable device or the like.

　本開示に係る強化ガラス板の製造方法によれば、厚みが薄くとも反りの小さい強化ガラス板が得られる。また、本開示に係る強化ガラス板は、厚みが薄くとも反りの小さい強化ガラス板である。 According to the method for manufacturing a tempered glass sheet according to the present disclosure, it is possible to obtain a tempered glass sheet that is thin and has little warpage. In addition, the tempered glass sheet according to the present disclosure is a tempered glass sheet with small warp even if the thickness is thin.

強化ガラス板の製造方法における除去工程を模式的に示す側面図である。FIG. 4 is a side view schematically showing a removing step in the method for manufacturing a tempered glass sheet. 除去工程後の強化ガラス板を模式的に示す側面図である。FIG. 4 is a side view schematically showing a tempered glass plate after a removal step; 強化ガラス板の製造方法における除去工程を模式的に示す側面図である。FIG. 4 is a side view schematically showing a removing step in the method for manufacturing a tempered glass sheet. 強化ガラス板の製造方法における除去工程を模式的に示す側面図である。FIG. 4 is a side view schematically showing a removing step in the method for manufacturing a tempered glass sheet.

　以下、実施形態に係る強化ガラス板の製造方法および強化ガラス板について、添付の図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, a method for manufacturing a tempered glass sheet and a tempered glass sheet according to an embodiment will be described with reference to the accompanying drawings.

＜第一実施形態＞
　第一実施形態に係る強化ガラス板の製造方法は、強化工程と除去工程とを含んでいる。 <First embodiment>
A method for manufacturing a tempered glass sheet according to the first embodiment includes a tempering step and a removing step.

［強化工程］
　強化工程では、可撓性を有するガラス板を化学強化することで表面側および裏面側にそれぞれ圧縮応力層（圧縮応力が作用した層）が形成された強化ガラス板を得る。強化工程を実行するに際しては、まず、化学強化用のガラス板を準備する。 [Strengthening process]
In the strengthening step, a flexible glass sheet is chemically strengthened to obtain a tempered glass sheet having compressive stress layers (layers to which compressive stress acts) formed on the front side and the back side, respectively. When performing the strengthening step, first, a glass plate for chemical strengthening is prepared.

　ガラス板は、オーバーフローダウンドロー法により成形したガラスリボンを切断、加工して得る。ガラス板の種類を限定するものではないが、本実施形態のガラス板は、化学強化に適したアルカリアルミノシリケートガラスである。また、ガラス板は、アルカリアルミノシリケートガラスの中でも特に高い圧縮応力値を得られる組成でなり、さらにオーバーフローダウンドロー法による成形を可能にするために高い液相粘度を実現できる組成でなる。なお、本実施形態では、オーバーフローダウンドロー法を利用してガラス板を得ているが、この他、スロットダウンドロー法、フロート法、リドロー法等を利用してガラス板を得てもよい。 The glass plate is obtained by cutting and processing a glass ribbon formed by the overflow down-draw method. Although the type of glass plate is not limited, the glass plate of the present embodiment is alkali aluminosilicate glass suitable for chemical strengthening. Further, the glass plate has a composition capable of obtaining a particularly high compressive stress value among alkali aluminosilicate glasses, and further has a composition capable of realizing a high liquidus viscosity to enable molding by the overflow down-draw method. In the present embodiment, the overflow downdraw method is used to obtain the glass plate, but in addition to this, the slot downdraw method, the float method, the redraw method, or the like may be used to obtain the glass plate.

　ガラス板の端面に対しては、研磨、熱処理、エッチング等により面取りや強度向上のための処理を施すことが好ましい。ガラス板の表裏面は研磨処理してよいが、例えば、オーバーフローダウンドロー法により表裏面が予め平滑に成形されている場合や、厚みが均一且つ精度よく成形されている場合には、表裏面には研磨処理を施さず、非研磨面のままとしてよい。なお、オーバーフローダウンドロー法により成形し、非研磨とした場合、ガラス板の表裏面は火造り面となる。ガラス板には、さらにエッチングにより厚みを減少させるスリミング処理を施してもよい。 It is preferable to subject the end face of the glass plate to chamfering and strength improvement by polishing, heat treatment, etching, or the like. The front and back surfaces of the glass plate may be polished. may be left unpolished without being polished. Note that when the glass plate is formed by the overflow down-draw method and is not polished, the front and back surfaces of the glass plate are fire-polished surfaces. The glass plate may be further subjected to a slimming treatment to reduce the thickness by etching.

　ガラス板は、ガラス組成の一例として、モル％で、ＳｉＯ₂　５０～８０％、Ａｌ₂Ｏ₃　５～２５％、Ｂ₂Ｏ₃　０～３５％、Ｌｉ₂Ｏ　０～２０％、Ｎａ₂Ｏ　１～２０％、Ｌｉ₂Ｏ＋Ｎａ₂Ｏ　１～２０％、Ｋ₂Ｏ　０～１０％を含有する。なお、０％を含めて範囲を記載した各成分は任意成分であることを示す。つまり、当該成分を含有していなくともよい。また、ガラス板は、上記の各成分の他に下記の各成分を含有していてもよい。モル％で、ＭｇＯ　０．１～１２％、ＣａＯ　０～１０％、ＳｒＯ　０～５％、ＢａＯ　０～５％、ＺｎＯ　０～６％、ＺｒＯ₂　０．００１～１０％、Ｐ₂Ｏ₅　０～１０％。この他、清澄剤として、Ａｓ₂Ｏ₃、Ｓｂ₂Ｏ₃、ＳｎＯ₂、Ｆ、Ｃｌ、ＳＯ₃の群（好ましくはＳｎＯ₂、Ｃｌ、ＳＯ₃の群）から選択された一種又は二種以上を０～３％含有していてもよい。なお、環境面の配慮から、実質的にＡｓ₂Ｏ₃、Ｆ、ＰｂＯ、Ｂｉ₂Ｏ₃を含有しないことが好ましい。 The glass plate has, as an example of the glass composition, SiO ₂ 50 to 80%, Al ₂ O ₃ 5 to 25%, B ₂ O ₃ 0 to 35%, Li ₂ O 0 to 20%, and Na ₂ O in mol%. 1-20%, Li ₂ O+Na ₂ O 1-20%, K ₂ O 0-10%. It should be noted that each component with a range including 0% indicates that it is an optional component. That is, it does not have to contain the said component. Further, the glass plate may contain the following components in addition to the above components. In mole %, MgO 0.1-12%, CaO 0-10%, SrO 0-5%, BaO 0-5%, ZnO 0-6%, ZrO ₂ 0.001-10%, P ₂ O ₅ 0 ~10%. In addition, as a clarifier, one or _more selected from the group of _{As2O3 , Sb2O3 ,} SnO2, F, Cl and SO3 ₍ preferably the group of _{SnO2 ,} Cl and SO3) may contain 0 to 3%. From the viewpoint of environmental considerations, it is preferable that substantially no As ₂ O ₃ , F, PbO, or Bi ₂ O ₃ be contained.

　ガラス板の形状は特に限定されないが、本実施形態では、長辺および短辺を有する矩形状をなす。ガラス板の長辺の長さは、例えば、５０ｍｍ以上５００ｍｍ以下、好ましくは６０ｍｍ以上４５０ｍｍ以下、より好ましくは６５ｍｍ以上４００ｍｍ以下、更に好ましくは７０ｍｍ以上３００ｍｍ以下、７５ｍｍ以上２００ｍｍ以下、８０ｍｍ以上１６０ｍｍ以下である。ガラス板の短辺の長さは、例えば、４０ｍｍ以上４００ｍｍ以下、好ましくは４５ｍｍ以上３５０ｍｍ以下、より好ましくは５０ｍｍ以上３００ｍｍ以下、さらに好ましくは５５ｍｍ以上１２０ｍｍ以下、６０ｍｍ以上８０ｍｍ以下である。 The shape of the glass plate is not particularly limited, but in this embodiment, it has a rectangular shape with long sides and short sides. The length of the long side of the glass plate is, for example, 50 mm or more and 500 mm or less, preferably 60 mm or more and 450 mm or less, more preferably 65 mm or more and 400 mm or less, still more preferably 70 mm or more and 300 mm or less, 75 mm or more and 200 mm or less, 80 mm or more and 160 mm or less. be. The length of the short side of the glass plate is, for example, 40 mm or more and 400 mm or less, preferably 45 mm or more and 350 mm or less, more preferably 50 mm or more and 300 mm or less, still more preferably 55 mm or more and 120 mm or less, and 60 mm or more and 80 mm or less.

　ガラス板は可撓性を付与できる程度の厚みを有し、本実施形態では、ガラス板の最大厚さは、例えば、１００μｍ以下であり、好ましくは５μｍ以上９５μｍ以下であり、より好ましくは１０μｍ以上８５μｍ以下、更に好ましくは１５μｍ以上７５μｍ以下である。更なる薄板化のために、ガラス板の厚みは、６５μｍ以下、５５μｍ以下とすることもできる。一方、ガラス板の厚みの下限は、２０μｍ以上、２５μｍ以上とすることが好ましい。ガラス板を薄くしすぎると強度を確保し難くなり、また過度にガラス板を薄くしすぎると、強化により圧縮応力値を高くすることが困難になり、かえって可撓性を損なう恐れがある。本実施形態においてガラス板の厚みは一定であることが好ましく、厚みの偏差が３μｍ以内であることが好ましい。 The glass plate has a thickness that can impart flexibility, and in the present embodiment, the maximum thickness of the glass plate is, for example, 100 µm or less, preferably 5 µm or more and 95 µm or less, and more preferably 10 µm or more. It is 85 μm or less, more preferably 15 μm or more and 75 μm or less. For further thinning, the thickness of the glass plate may be 65 μm or less, or 55 μm or less. On the other hand, the lower limit of the thickness of the glass plate is preferably 20 μm or more and 25 μm or more. If the glass plate is made too thin, it becomes difficult to ensure the strength, and if the glass plate is made too thin, it becomes difficult to increase the compressive stress value by strengthening, and there is a risk that the flexibility may be impaired. In the present embodiment, the thickness of the glass plate is preferably constant, and the thickness deviation is preferably within 3 μm.

　ここで、本実施形態におけるガラス板は、成膜処理が行われていない非成膜のガラス板である場合を一例として示す。つまり、表裏面がガラス面からなるガラス板である場合を例示する。なお、本発明は成膜処理が行われた成膜ガラス板へも適用し得る。 Here, as an example, the glass plate in the present embodiment is a non-film-formed glass plate on which no film-forming process has been performed. That is, the case where the front and back surfaces are glass plates is exemplified. In addition, the present invention can also be applied to a film-formed glass plate on which a film-forming process has been performed.

　次に、上述のように準備したガラス板をイオン交換処理により化学強化する。具体的には、ガラス板をイオン交換処理用の溶融塩（強化液）に浸漬させて処理する。 Next, the glass plate prepared as described above is chemically strengthened by ion exchange treatment. Specifically, the glass plate is immersed in a molten salt (strengthening liquid) for ion exchange treatment.

　溶融塩は、ガラス板中の成分とイオン交換可能な成分を含む塩であり、典型的にはアルカリ硝酸塩である。アルカリ硝酸塩としては、ＮａＮＯ₃、ＫＮＯ₃、ＬｉＮＯ₃等が挙げられ、これらを各々単独で（１００質量％で）、或いは、複数種を混合して用いることができ、典型的にはＫＮＯ₃　１００質量％とすることができる。複数種のアルカリ硝酸塩を混合する場合における混合比率は任意に定めてよいが、例えば、質量％で、ＮａＮＯ₃　５～９５％且つＫＮＯ₃　５～９５％、ＮａＮＯ₃　３０～８０％且つＫＮＯ₃　２０～７０％、または、ＮａＮＯ₃　５０～７０％且つＫＮＯ₃　３０～５０％等の比率とすることができる。 Molten salts are salts containing components that can be ion-exchanged with components in the glass sheet, typically alkali nitrates. Alkali nitrates include NaNO ₃ , KNO _{3 ,} LiNO ₃ and the like. % by mass. When a plurality of types of _{alkali nitrates are} mixed _, the mixing ratio may be arbitrarily determined. ˜70%, or ratios such as 50-70% NaNO ₃ and 30-50% KNO ₃ .

　イオン交換処理における溶融塩の温度および浸漬時間等の条件は、所望の応力特性を得られる範囲で、組成等に応じて設定してよい。溶融塩の温度は、例えば、３５０℃～５００℃、好ましくは３５５℃～４７０℃、３６０℃～４５０℃、３６５℃～４３０℃、３７０℃～４１０℃である。また、浸漬時間は、例えば、３分～３００分、好ましくは５分～１２０分、より好ましくは７分～１００分である。 Conditions such as the temperature and immersion time of the molten salt in the ion exchange treatment may be set according to the composition etc. within the range where the desired stress characteristics can be obtained. The temperature of the molten salt is, for example, 350-500°C, preferably 355-470°C, 360-450°C, 365-430°C and 370-410°C. The immersion time is, for example, 3 minutes to 300 minutes, preferably 5 minutes to 120 minutes, more preferably 7 minutes to 100 minutes.

　上述のイオン交換処理を経て強化ガラス板を得る。イオン交換処理後の強化ガラス板は、洗浄および乾燥することが好ましい。なお、イオン交換処理は、一回のみに限らず、複数回を行うようにしてもよい。 A tempered glass plate is obtained through the ion exchange treatment described above. It is preferable to wash and dry the tempered glass plate after the ion exchange treatment. Note that the ion exchange treatment is not limited to one time, and may be performed multiple times.

　なお、強化ガラス板の圧縮応力層の最大深さＤＯＣは、１５．０μｍ以下であり、好ましくは０．５μｍ以上１２．０μｍ以下、好ましくは１．０μｍ以上１０．０μｍ以下、好ましくは１．０μｍ以上８．５μｍ以下、より好ましくは２．０μｍ以上８．０μｍ以下、より好ましくは２．５μｍ以上７．５μｍ以下、２．５μｍ以上５．５μｍ以下である。強化ガラス板の破壊時に危険な破壊様態とならない圧縮応力値、圧縮応力層の最大深さの閾値について発明者らが種々検討の結果、厚みが１００μｍ以下の薄いガラスでは、圧縮応力層の最大深さを９．０μｍ以下とすることが効果的であることを見出した。こうすることで曲げに対する十分な強度を持ちながら、安全性も確保できる。なお、本発明におけるＤＯＣは、強化ガラス板内の応力が圧縮応力から引張応力に変化する深さであり、応力がゼロとなる深さである。 The maximum depth DOC of the compressive stress layer of the tempered glass plate is 15.0 μm or less, preferably 0.5 μm or more and 12.0 μm or less, preferably 1.0 μm or more and 10.0 μm or less, preferably 1.0 μm. 8.5 μm or less, more preferably 2.0 μm or more and 8.0 μm or less, more preferably 2.5 μm or more and 7.5 μm or less, and 2.5 μm or more and 5.5 μm or less. As a result of various investigations by the inventors regarding the compressive stress value and the threshold value of the maximum depth of the compressive stress layer that does not cause a dangerous fracture mode when the tempered glass plate is broken, the maximum depth of the compressive stress layer is It has been found that it is effective to set the thickness to 9.0 μm or less. By doing so, it is possible to ensure safety while having sufficient strength against bending. The DOC in the present invention is the depth at which the stress in the tempered glass plate changes from compressive stress to tensile stress, and is the depth at which the stress becomes zero.

　強化ガラス板の圧縮応力層における最大圧縮応力ＣＳは、例えば、５２０ＭＰａ以上２０００ＭＰａ以下であり、好ましくは６５０ＭＰａ以上１８００ＭＰａ以下であり、より好ましくは７００ＭＰａ以上１７００ＭＰａ以下とすることができる。最大圧縮応力ＣＳをこのような範囲とすることで、高い曲げ強度を得ることができる。なお、さらなる曲げ強度の向上を図る場合、最大圧縮応力ＣＳは、より好ましくは７６０ＭＰａ以上１６００ＭＰａ以下、さらに好ましくは８２０ＭＰａ以上１５５０ＭＰａ以下とすることができる。一方、破損時の粉砕の抑制を重視し、最大引張応力ＣＴの抑制を優先する場合、最大圧縮応力ＣＳの上限値は、１０００ＭＰａ以下、９００ＭＰａ以下、８００ＭＰａ以下、７４０ＭＰａ以下に制限することもできる。 The maximum compressive stress CS in the compressive stress layer of the tempered glass plate is, for example, 520 MPa or more and 2000 MPa or less, preferably 650 MPa or more and 1800 MPa or less, more preferably 700 MPa or more and 1700 MPa or less. By setting the maximum compressive stress CS in such a range, high bending strength can be obtained. In order to further improve the bending strength, the maximum compressive stress CS can be more preferably 760 MPa or more and 1600 MPa or less, and still more preferably 820 MPa or more and 1550 MPa or less. On the other hand, when the suppression of pulverization at breakage is emphasized and the suppression of the maximum tensile stress CT is prioritized, the upper limit of the maximum compressive stress CS can be limited to 1000 MPa or less, 900 MPa or less, 800 MPa or less, or 740 MPa or less.

［除去工程］
　上述の強化工程が完了すると、図１に示すように、強化工程で得られた強化ガラス板１に対して除去工程を実行する。 [Removal step]
After the tempering process is completed, as shown in FIG. 1, the tempered glass sheet 1 obtained in the tempering process is removed.

　強化工程で得られた強化ガラス板１は、表裏面２，３の一方が凸となるように反った反り部４を含んでいる。なお、ここでは表面２が凸となっている場合を例示する。すなわち、表面２側が表裏間で強化の程度が大きい側となっている。本実施形態では、強化ガラス板１の全体が単一の反り部４からなる。つまり、強化ガラス板１の全体において表面２のみが凸となっている（裏面３に凸部を有しない）。強化ガラス板１の表面２側および裏面３側にはそれぞれ圧縮応力層５，６が形成されている。強化の程度が大きい側である表面２側の圧縮応力層５は、強化の程度が小さい側である裏面３側の圧縮応力層６に比べて、平均的に層が深くなっている。図１にてクロスハッチングを施した箇所は、強化ガラス板１における表裏の圧縮応力層５，６を含め、圧縮応力層が形成された箇所である。 The tempered glass plate 1 obtained in the tempering process includes a warped portion 4 in which one of the front and back surfaces 2 and 3 is convex. In addition, the case where the surface 2 is convex is illustrated here. That is, the surface 2 side is the side with a large degree of strengthening between the front and back surfaces. In this embodiment, the entire tempered glass plate 1 consists of a single warped portion 4 . That is, only the front surface 2 is convex in the entire tempered glass plate 1 (the rear surface 3 does not have a convex portion). Compressive stress layers 5 and 6 are formed on the front surface 2 side and the rear surface 3 side of the tempered glass plate 1, respectively. The compressive stress layer 5 on the side of the front surface 2, which is the side with a large degree of strengthening, is deeper on average than the compressive stress layer 6 on the side of the back surface 3, which is the side with a small degree of strengthening. The cross-hatched portions in FIG. 1 are the portions where the compressive stress layers including the compressive stress layers 5 and 6 on the front and back sides of the tempered glass plate 1 are formed.

　なお、強化ガラス板１（反り部４）の反りは、強化ガラス板１の長辺方向および短辺方向のいずれか一方のみに沿って発生している場合もあれば、両方向に沿って発生している場合もあるし、両方向と交差する方向（例えば、対角方向）に沿って発生している場合もある。ここで、定盤に備わった水平な支持面上に強化ガラス板１を平置き姿勢で載置（凸となった表面２を支持面に接触させた状態で載置）した場合に、強化ガラス板１の端部が支持面から浮き上がった寸法を反り量と規定する。この場合、除去工程の実行前において、厚みが１００μｍ以下の強化ガラス板１に発生する反り量は、一例として５ｍｍ～１５ｍｍである。 The warp of the tempered glass plate 1 (warp portion 4) may occur along either one of the long side direction and the short side direction of the tempered glass plate 1, or may occur along both directions. or along a direction that intersects both directions (eg, diagonally). Here, when the tempered glass plate 1 is placed flat on a horizontal support surface provided on a surface plate (placed with the convex surface 2 in contact with the support surface), the tempered glass The amount of warpage is defined as the dimension by which the edge of the plate 1 rises from the supporting surface. In this case, the amount of warp generated in the tempered glass sheet 1 having a thickness of 100 μm or less is, for example, 5 mm to 15 mm before the removal step is performed.

　除去工程では、強化ガラス板１における表面２側（凸面側）の圧縮応力層５の表層部を除去することで反りを小さくする。具体的には、強化ガラス板１の表面２上における一部の領域のみにエッチングを施すことにより、当該一部の領域に対応する圧縮応力層５の表層部を除去する。すなわち、表裏間で強化の程度が大きい側の圧縮応力層５の深さを減じるように処置を施し、両圧縮応力層５，６の深さの差を小さくする。以下の説明では、強化ガラス板１においてエッチングを施す領域を「エッチング対象領域」と表記する。ここで、エッチング対象領域の面積は、強化ガラス板１の面積のうちの２０％以上とすることが好ましく、より好ましくは３０％以上、更に好ましくは４０％以上、最も好ましくは５０％以上である。また、エッチング対象領域の面積は、強化ガラス板１の面積のうちの１００％未満、好ましくは９０％以下である。 In the removing step, warping is reduced by removing the surface layer portion of the compressive stress layer 5 on the surface 2 side (convex side) of the tempered glass plate 1 . Specifically, only a partial region on the surface 2 of the tempered glass plate 1 is etched to remove the surface layer portion of the compressive stress layer 5 corresponding to the partial region. That is, the depth of the compressive stress layer 5 on the side with the greater degree of reinforcement is reduced between the front and back sides, and the difference between the depths of both the compressive stress layers 5 and 6 is reduced. In the following description, the region to be etched in the tempered glass plate 1 is referred to as "etching target region". Here, the area of the etching target region is preferably 20% or more, more preferably 30% or more, still more preferably 40% or more, and most preferably 50% or more of the area of the tempered glass plate 1. . Also, the area of the etching target region is less than 100%, preferably 90% or less of the area of the tempered glass plate 1 .

　エッチング対象領域は、強化ガラス板１における表面２の頂点、つまり凸面上で強化ガラス板１の厚み方向に最も突出した箇所、を含んだ領域である。表面２の頂点は、強化ガラス板１において表裏間強化差（表面２側と裏面３側との間での強化の程度の差）が最大になっている部位に対応している傾向が強い。本実施形態では、除去工程の実行前において、表面２の頂点にて最大圧縮応力ＣＳが発生している。なお、表面２上における頂点以外の箇所で最大圧縮応力ＣＳが発生している場合には、当該箇所を含んだ領域をエッチング対象領域としても構わない。 The area to be etched is an area including the apex of the surface 2 of the tempered glass sheet 1, that is, the area that protrudes most in the thickness direction of the tempered glass sheet 1 on the convex surface. The apex of the front surface 2 tends to correspond to the portion where the front-back strengthening difference (the difference in the degree of strengthening between the front surface 2 side and the back surface 3 side) of the tempered glass plate 1 is the largest. In this embodiment, the maximum compressive stress CS is generated at the vertices of the surface 2 before execution of the removal step. In addition, when the maximum compressive stress CS is generated at a location other than the vertex on the surface 2, the area including the location may be set as the etching target area.

　エッチング対象領域にエッチングを施すに際しては、強化ガラス板１を縦姿勢で吊り下げ支持した状態にする。強化ガラス板１を吊り下げ支持するにあたっては、例えば、縦姿勢にした強化ガラス板１の裏面３における上部領域を保持部材（吸着パッド等）により保持させればよい。また、縦姿勢にした強化ガラス板１における上辺部を把持部材（チャック等）により把持させてもよい。 When etching the area to be etched, the tempered glass plate 1 is vertically suspended and supported. In order to suspend and support the tempered glass sheet 1, for example, the upper region of the rear surface 3 of the tempered glass sheet 1 in a vertical position may be held by a holding member (suction pad or the like). Further, the upper side portion of the tempered glass plate 1 in the vertical posture may be gripped by a gripping member (such as a chuck).

　さらに、エッチング対象領域にエッチングを施すに際しては、エッチング液（詳細は後述）を保持可能な平坦面７を備えたエッチング部材８を用いる。具体的には、エッチング対象領域と、エッチング部材８の平坦面７との両者を接触させることでエッチングを施す。本実施形態では、両者の接触に伴い、エッチング部材８の平坦面７に倣うように強化ガラス板１の表面２を部分的に平坦化させつつ、エッチング対象領域にエッチングを施す。このとき、強化ガラス板１の表面２上におけるエッチング対象領域を除いた領域は、エッチング部材８の平坦面７から浮き上がった状態にある。 Furthermore, when etching the etching target region, an etching member 8 having a flat surface 7 capable of holding an etchant (details will be described later) is used. Specifically, the etching is performed by bringing the etching target region and the flat surface 7 of the etching member 8 into contact with each other. In this embodiment, the area to be etched is etched while partially flattening the surface 2 of the tempered glass plate 1 so as to follow the flat surface 7 of the etching member 8 as the two come into contact with each other. At this time, the area on the surface 2 of the tempered glass plate 1 excluding the area to be etched is in a state of floating above the flat surface 7 of the etching member 8 .

　ここで、エッチング部材８の詳細について説明する。エッチング部材８は板状の外形を有する。エッチング部材８の平坦面７は、水平面に対して略垂直な面となっている。エッチング部材８の平坦面７の面積は、強化ガラス板１の面積以上とされており、本実施形態では、平坦面７の面積が、強化ガラス板１の面積よりも大きくなっている。エッチング部材８は、エッチング液を含浸させたスポンジ状部材であり、本実施形態ではＰＶＡスポンジである。なお、平坦面７にエッチング液を保持可能なものであれば、エッチング部材８としてスポンジ状部材以外の部材を用いても構わない。ただし、平坦面７が変形し難いものを用いることが好ましい。例えば、エッチング部材８としては、ポリウレタンスポンジ等を用いることが可能である。 Here, details of the etching member 8 will be described. The etching member 8 has a plate-like outer shape. The flat surface 7 of the etching member 8 is substantially perpendicular to the horizontal plane. The area of the flat surface 7 of the etching member 8 is equal to or larger than the area of the tempered glass plate 1 , and in the present embodiment, the area of the flat surface 7 is larger than the area of the tempered glass plate 1 . The etching member 8 is a sponge-like member impregnated with an etching liquid, and is a PVA sponge in this embodiment. A member other than a sponge-like member may be used as the etching member 8 as long as the etching liquid can be retained on the flat surface 7 . However, it is preferable to use one whose flat surface 7 is difficult to deform. For example, as the etching member 8, it is possible to use a polyurethane sponge or the like.

　なお、本実施形態においては、エッチング部材８の平坦面７に倣うように強化ガラス板１の表面２を部分的に平坦化させつつ、エッチング対象領域にエッチングを施しているが、この限りではない。エッチング対象領域と、エッチング部材８の平坦面７との両者の接触に伴い、強化ガラス板１の反り（表面２の湾曲）に倣うようにエッチング部材８の平坦面７を凹湾曲面に変形させつつ、エッチング対象領域にエッチングを施してもよい。 In the present embodiment, while the surface 2 of the tempered glass plate 1 is partially flattened so as to follow the flat surface 7 of the etching member 8, the etching target region is etched, but this is not the only option. . As the area to be etched and the flat surface 7 of the etching member 8 come into contact with each other, the flat surface 7 of the etching member 8 is deformed into a concavely curved surface so as to follow the warpage of the tempered glass plate 1 (curvature of the surface 2). However, etching may be applied to the area to be etched.

　エッチング液としては、ガラスをエッチング可能な酸性またはアルカリ性の液を使用できる。本実施形態においては、酸性のエッチング液を使用している。酸性のエッチング液としては、例えば、ＨＦを含む水溶液を用いることができる。ＨＦを含む水溶液を用いた場合、ガラスに対するエッチングレートが高く、エッチングを効率よく行うことができる。 As an etchant, an acidic or alkaline liquid that can etch glass can be used. In this embodiment, an acidic etchant is used. As an acidic etching solution, for example, an aqueous solution containing HF can be used. When an aqueous solution containing HF is used, the etching rate for glass is high, and etching can be performed efficiently.

　ＨＦを含む水溶液は、例えば、ＨＦのみ、或いは、ＨＦとＨＣｌ、ＨＦとＨＮＯ₃、ＨＦとＨ₂ＳＯ₄、ＨＦとＮＨ₄Ｆ、の組み合わせ、を含有した水溶液である。ＨＦ、ＨＣＬ、ＨＮＯ₃、Ｈ₂ＳＯ₄、ＮＨ₄Ｆ、各々の化合物の濃度は、０．１～３０ｍｏｌ／Ｌであることが好ましい。ＨＦを含む水溶液を用いたエッチングにおいては、ガラス成分を含むフッ化物が副産物として生成され、エッチングレートの低下や欠陥の要因となり得るが、上述のようにＨＣＬ、ＨＮＯ₃、或いは、Ｈ₂ＳＯ₄等の他の酸との混酸とすることで、当該副産物を分解して生産性の低下を抑制できる。酸性のエッチング液を用いてエッチングを行う場合、エッチング液の温度は、例えば１０℃～３０℃であり、処理時間は、例えば０．１分～６０分間であることが好ましく、０．５分～３０分であることがより好ましく、１分～１０分であることが更に好ましい。 The aqueous solution containing HF is, for example, an aqueous solution containing only HF or a combination of HF and HCl, HF and _HNO3 , HF and _H2SO4 , or _HF and _NH4F . HF, HCL, HNO ₃ , H ₂ SO ₄ and NH ₄ F, the concentration of each compound is preferably 0.1 to 30 mol/L. _In etching using an aqueous solution containing HF _, a fluoride containing a glass component is produced as a by _- product, which may cause a decrease in the etching rate or cause defects. By using a mixed acid with other acids such as , the by-product can be decomposed to suppress a decrease in productivity. When etching is performed using an acidic etchant, the temperature of the etchant is, for example, 10° C. to 30° C., and the treatment time is, for example, preferably 0.1 to 60 minutes, preferably 0.5 to 60 minutes. 30 minutes is more preferable, and 1 to 10 minutes is even more preferable.

　ここで、本実施形態においては、除去工程の実行前における表面２側の圧縮応力層５の最大深さをＤＯＣとし、除去工程で除去される圧縮応力層５の表層部の厚み（すなわち除去量）をΔｔとしたとき、Δｔ≦０．８×ＤＯＣを満たすように除去工程を実行する。なお、好ましくはΔｔ≦０．８５×ＤＯＣ、より好ましくはΔｔ≦０．９×ＤＯＣ、更に好ましくはΔｔ≦０．９５×ＤＯＣ、最も好ましくはΔｔ≦０．９７×ＤＯＣを満たすように除去工程を実行する。より具体的な例示として、Δｔは、０．０１～２μｍ、好ましくは０．０３～１．５μｍ、より好ましくは０．０５～１．２μｍ、さらに好ましくは０．０７～１μｍである。除去される圧縮応力層５の表層部の厚みをこのような範囲とすることで、除去工程の前後における最大圧縮応力ＣＳや圧縮応力層の最大深さＤＯＣの変動量を可及的に小さくし、制御し易くする。 Here, in the present embodiment, the maximum depth of the compressive stress layer 5 on the surface 2 side before the removal step is performed is DOC, and the thickness of the surface layer portion of the compressive stress layer 5 to be removed in the removal step (that is, the removal amount ) is Δt, the removing process is performed so as to satisfy Δt≦0.8×DOC. In addition, preferably Δt≦0.85×DOC, more preferably Δt≦0.9×DOC, still more preferably Δt≦0.95×DOC, and most preferably Δt≦0.97×DOC in the removal step to run. As a more specific example, Δt is 0.01 to 2 μm, preferably 0.03 to 1.5 μm, more preferably 0.05 to 1.2 μm, still more preferably 0.07 to 1 μm. By setting the thickness of the surface layer portion of the removed compressive stress layer 5 within such a range, the amount of variation in the maximum compressive stress CS and the maximum depth DOC of the compressive stress layer before and after the removal process can be minimized. , making it easier to control.

　なお、最大圧縮応力ＣＳ、最大引張応力ＣＴ、圧縮応力層の最大深さＤＯＣ等の数値は、例えば、折原製作所製ＦＳＭ－６０００やＳＬＰ－１０００等の測定装置によりガラスの応力分布を測定することにより導出可能である。 The numerical values such as the maximum compressive stress CS, the maximum tensile stress CT, and the maximum depth DOC of the compressive stress layer are obtained by measuring the stress distribution of the glass with a measuring device such as FSM-6000 or SLP-1000 manufactured by Orihara Seisakusho. can be derived from

　ここで、本実施形態では、除去工程において圧縮応力層５の表層部を除去するにあたり、エッチング部材８を用いてエッチング対象領域にエッチングを施している。しかしながらこの限りではなく、強化ガラス板１の裏面３の全領域、及び、表面２上におけるエッチング対象領域を除いた領域、をマスキングした上で、強化ガラス板１をエッチング液に浸漬させてエッチング対象領域にエッチングを施してもよい。さらには、エッチングの代わりに、強化ガラス板１の表面２上における一部の領域（表面２の頂点を含む領域）のみに研磨加工を施すことで、当該一部の領域に対応する圧縮応力層５の表層部を除去してもよい。 Here, in the present embodiment, when removing the surface layer portion of the compressive stress layer 5 in the removal step, the etching member 8 is used to etch the etching target region. However, not limited to this, after masking the entire area of the back surface 3 of the tempered glass plate 1 and the area excluding the etching target area on the front surface 2, the tempered glass sheet 1 is immersed in an etching solution to be etched. Areas may be etched. Furthermore, instead of etching, only a partial region (region including the vertex of the surface 2) on the surface 2 of the tempered glass plate 1 is subjected to polishing processing, so that the compressive stress layer corresponding to the partial region 5 may be removed.

　また、本実施形態では、強化ガラス板１の表面２上における一部の領域のみをエッチング対象領域としているが、表面２の全領域（面積の１００％）をエッチング対象領域として、全領域に対応する圧縮応力層５の表層部を除去してもよい。この場合、スプレー等を用いて表面２の全領域にエッチング液を噴射してもよいし、表裏面２，３のうちの表面２のみをエッチング液に浸漬させるようにしてもよい。さらに、表面２の全領域に対応する圧縮応力層５の表層部を除去する場合には、表面２の全領域に対して研磨加工を施してもよい。 Further, in the present embodiment, only a partial area on the surface 2 of the tempered glass plate 1 is the etching target area, but the entire area (100% of the area) of the surface 2 is the etching target area. The surface layer portion of the compressive stress layer 5 may be removed. In this case, the etchant may be sprayed onto the entire surface 2 using a spray or the like, or only the surface 2 of the front and back surfaces 2 and 3 may be immersed in the etchant. Further, when removing the surface layer portion of the compressive stress layer 5 corresponding to the entire area of the surface 2, the entire area of the surface 2 may be subjected to polishing.

　上述の除去工程が完了すると、図２に示すように、除去工程の実行前と比較して反りが小さくなった強化ガラス板１が得られる。以下の説明では、除去工程後の強化ガラス板１を「処理後強化ガラス板１」と表記して除去工程前の強化ガラス板１と区別する。 When the removal process described above is completed, as shown in FIG. 2, a tempered glass plate 1 with less warpage than before the removal process is obtained. In the following description, the tempered glass sheet 1 after the removal process is referred to as a "treated tempered glass sheet 1" to distinguish it from the tempered glass sheet 1 before the removal process.

　上述の除去工程において、強化ガラス板１の表面２上における一部の領域のみをエッチング対象領域としていた場合、処理後強化ガラス板１は、表裏面２，３のうちの凸面である表面２上の一部の領域のみに、エッチングが施された処理領域を有する。すなわち、表面２の一部にエッチング面が含まれる。一方、除去工程において、強化ガラス板１の表面２の全領域をエッチング対象領域としていた場合、処理後強化ガラス板１は、表裏面２，３のうちの凸面である表面２の全領域に、エッチングが施された処理領域を有する。すなわち、表面２の全面がエッチング面となる。勿論であるが、本実施形態において処理後強化ガラス板１の裏面３上には処理領域が存在しない。すなわち、裏面３は非エッチング面となる。 In the removal step described above, if only a partial region on the front surface 2 of the tempered glass plate 1 is the target region for etching, the tempered glass plate 1 after the treatment has a convex surface 2 on the front and back surfaces 2 and 3. Only some areas of have etched processing areas. That is, part of the surface 2 includes an etched surface. On the other hand, in the removal step, when the entire region of the front surface 2 of the tempered glass plate 1 is set as the etching target region, the tempered glass plate 1 after treatment has the convex surface 2 of the front and back surfaces 2 and 3, It has an etched processing area. That is, the entire surface 2 becomes an etching surface. Of course, in this embodiment, there is no treated area on the rear surface 3 of the tempered glass sheet 1 after treatment. That is, the back surface 3 becomes a non-etching surface.

　処理後強化ガラス板１の厚みは上述のΔｔに応じて除去箇所において部分的に減少するが、処理後強化ガラス板１の最大厚さは、例えば１００μｍ以下であり、好ましくは５μｍ以上９５μｍ以下、より好ましくは１０μｍ以上８５μｍ以下、更に好ましくは１５μｍ以上７５μｍ以下である。 The thickness of the tempered glass sheet 1 after treatment partially decreases at the removed portion depending on the above-mentioned Δt, but the maximum thickness of the tempered glass sheet 1 after treatment is, for example, 100 μm or less, preferably 5 μm or more and 95 μm or less. It is more preferably 10 μm or more and 85 μm or less, still more preferably 15 μm or more and 75 μm or less.

　処理後強化ガラス板１の圧縮応力深さは上述のΔｔに応じて除去箇所において部分的に減少するが、処理後強化ガラス板１の圧縮応力層の最大深さＤＯＣは、例えば、０．５μｍ以上であり、好ましくは０．５μｍ以上１２．０μｍ以下、より好ましくは２．０μｍ以上８．０μｍ以下、より好ましくは２．５μｍ以上７．５μｍ以下、２．５μｍ以上５．５μｍ以下である。 Although the compressive stress depth of the treated tempered glass sheet 1 partially decreases at the removed portion according to the above-described Δt, the maximum depth DOC of the compressive stress layer of the treated tempered glass sheet 1 is, for example, 0.5 μm. 0.5 μm or more and 12.0 μm or less, more preferably 2.0 μm or more and 8.0 μm or less, more preferably 2.5 μm or more and 7.5 μm or less, and 2.5 μm or more and 5.5 μm or less.

　処理後強化ガラス板１の圧縮応力層における最大圧縮応力ＣＳは、例えば、５２０ＭＰａ以上２０００ＭＰａ以下であり、好ましくは６５０ＭＰａ以上１８００ＭＰａ以下であり、より好ましくは７００ＭＰａ以上１７００ＭＰａ以下とすることができる。 The maximum compressive stress CS in the compressive stress layer of the tempered glass sheet 1 after treatment is, for example, 520 MPa or more and 2000 MPa or less, preferably 650 MPa or more and 1800 MPa or less, and more preferably 700 MPa or more and 1700 MPa or less.

　処理後強化ガラス板１の反りは、例えば、１．０ｍｍ以下であり、好ましくは、０．７ｍｍ以下であり、より好ましくは０．５ｍｍ以下である。 The warpage of the tempered glass sheet 1 after treatment is, for example, 1.0 mm or less, preferably 0.7 mm or less, and more preferably 0.5 mm or less.

＜第二実施形態＞
　以下、第二実施形態について説明する。なお、第二実施形態および後述する第三実施形態の説明において、上記の第一実施形態で説明済みの要素と実質的に同一の要素については、第二、第三実施形態の説明で参照する図面に同一符号を付すことで重複する説明を省略し、第一実施形態との相違点についてのみ説明する。 <Second embodiment>
A second embodiment will be described below. In addition, in the description of the second embodiment and the later-described third embodiment, elements that are substantially the same as the elements described in the first embodiment will be referred to in the description of the second and third embodiments. The same reference numerals are given to the drawings to omit redundant description, and only differences from the first embodiment will be described.

　図３に示すように、第二実施形態が第一実施形態と相違している点は、除去工程において、強化ガラス板１を縦姿勢で吊り下げ支持するのではなく、平置き姿勢にしている点である。具体的には、定盤上にエッチング部材８を平置きにした状態の下、強化ガラス板１の凸になっている表面２が下面となるように、エッチング部材８上に強化ガラス板１を載置する。これにより、エッチング対象領域と、エッチング部材８の平坦面７との両者を接触させてエッチングを施す。第二実施形態においても、第一実施形態と同様の処理後強化ガラス板１が得られる。 As shown in FIG. 3, the difference of the second embodiment from the first embodiment is that in the removing step, the tempered glass plate 1 is laid flat instead of being vertically suspended. It is a point. Specifically, with the etching member 8 laid flat on a surface plate, the tempered glass plate 1 is placed on the etching member 8 so that the convex surface 2 of the tempered glass plate 1 faces downward. Place. As a result, the etching target region and the flat surface 7 of the etching member 8 are brought into contact with each other and etched. Also in the second embodiment, the treated tempered glass sheet 1 similar to that in the first embodiment is obtained.

＜第三実施形態＞
　図４に示すように、第三実施形態が第一実施形態と相違している点は、強化ガラス板１の全体が単一の反り部４からではなく、複数（本実施形態では二つ）の反り部４からなる点と、除去工程において、エッチング対象領域が強化ガラス板１の表面２上および裏面３上の双方に存在している点である。 <Third embodiment>
As shown in FIG. 4, the third embodiment differs from the first embodiment in that the entire tempered glass plate 1 is not formed from a single warped portion 4, but from a plurality of warped portions (two in this embodiment). and the etching target region exists on both the front surface 2 and the back surface 3 of the tempered glass plate 1 in the removing step.

　同図に示すように、縦姿勢で吊り下げ支持された強化ガラス板１の上方側部位と下方側部位とは相互に逆向きに反っている。以下の説明では、相対的に上方に位置すると共に表面２が凸となった反り部４を第一反り部４ａと表記し、相対的に下方に位置すると共に裏面３が凸となった反り部４を第二反り部４ｂと表記する。第一反り部４ａにおいては、表面２側と裏面３側とのうち、表面２側で強化の程度が大きく、圧縮応力層５は圧縮応力層６に比べて、平均的に層が深くなっている。一方、第二反り部４ｂにおいては、第一反り部４ａとは反対に裏面３側で強化の程度が大きく、圧縮応力層６は圧縮応力層５に比べて、平均的に層が深くなっている。 As shown in the figure, the upper part and the lower part of the tempered glass plate 1 suspended and supported in a vertical posture are warped in opposite directions. In the following description, the warped portion 4 located relatively upward and having the front surface 2 convex is referred to as a first warped portion 4a, and the warped portion located relatively downward and having the back surface 3 convex 4 is referred to as a second warped portion 4b. In the first warped portion 4a, the degree of strengthening is greater on the surface 2 side than on the surface 2 side and the back surface 3 side, and the compressive stress layer 5 is deeper than the compressive stress layer 6 on average. there is On the other hand, in the second warped portion 4b, the degree of strengthening is large on the back surface 3 side, opposite to the first warped portion 4a, and the compressive stress layer 6 is deeper than the compressive stress layer 5 on average. there is

　第一反り部４ａでは、当該第一反り部４ａにおける表面２上の一部の領域（表面２の頂点を含む領域）のみがエッチング対象領域となる。一方、第二反り部４ｂでは、当該第二反り部４ｂにおける裏面３上の一部の領域（裏面３の頂点を含む領域）のみがエッチング対象領域となる。これらエッチング対象領域にエッチングを施すに際しては、強化ガラス板１の表面２側および裏面３側から、それぞれエッチング対象領域に対してエッチング部材８の平坦面７を接触させる。これにより、表面２上の一部の領域に対応する圧縮応力層５の表層部、及び、裏面３上の一部の領域に対応する圧縮応力層６の表層部を除去する。 In the first warped portion 4a, only a partial region (region including the vertex of the surface 2) on the surface 2 of the first warped portion 4a is the etching target region. On the other hand, in the second warped portion 4b, only a partial region (region including the vertex of the back surface 3) on the back surface 3 of the second warped portion 4b is an etching target region. When etching these etching target regions, the flat surface 7 of the etching member 8 is brought into contact with the etching target regions from the front surface 2 side and the back surface 3 side of the tempered glass plate 1, respectively. As a result, the surface layer portion of the compressive stress layer 5 corresponding to a partial area on the surface 2 and the surface layer portion of the compressive stress layer 6 corresponding to a partial area on the back surface 3 are removed.

　第三実施形態で得られる処理後強化ガラス板１においても、その反り量が１ｍｍ以下（好ましくは、０．７ｍｍ以下、より好ましくは０．５ｍｍ以下）となっている。この処理後強化ガラス板１は、第一反り部４ａおよび第二反り部４ｂを含み、第一反り部４ａにおける表面２上の一部の領域、及び、第二反り部４ｂにおける裏面３上の一部の領域に、エッチングが施された処理領域を有する。すなわち、第一反り部４ａにおける表面２の一部、及び、第二反り部４ｂにおける裏面３の一部にエッチング面が含まれる。 In the treated tempered glass sheet 1 obtained in the third embodiment, the amount of warpage is 1 mm or less (preferably 0.7 mm or less, more preferably 0.5 mm or less). This post-treatment tempered glass sheet 1 includes a first warp portion 4a and a second warp portion 4b, a partial region on the surface 2 at the first warp portion 4a, and a region on the back surface 3 at the second warp portion 4b. Some areas have process areas that have been etched. That is, part of the front surface 2 of the first warped portion 4a and part of the back surface 3 of the second warped portion 4b include etched surfaces.

　なお、上記の第一～第三実施形態では、強化ガラス板１において、表面２側の圧縮応力層５と裏面３側の圧縮応力層６とのうち、強化の程度が大きい側にて平均的に層が深くなっていたが、この限りではない。強化の程度が大きい側と小さい側とで層の深さが同等で、最大圧縮応力ＣＳの値にのみ差が生じている場合もある。勿論、層の深さと最大圧縮応力ＣＳの値との双方に差が生じている場合もある（下記の実施例を参照）。 In the first to third embodiments described above, in the tempered glass plate 1, the degree of strengthening of the compressive stress layer 5 on the front surface 2 side and the compressive stress layer 6 on the back surface 3 side is average However, this is not the only case. In some cases, the depth of the layer is the same between the side with a large degree of strengthening and the side with a small degree of strengthening, and there is a difference only in the value of the maximum compressive stress CS. Of course, there may be differences in both the layer depth and the value of the maximum compressive stress CS (see examples below).

　ここで、上記の各実施形態に対しては、以下のような変形例を適用することも可能である。上記の各実施形態においては、エッチング部材８に平坦面７が備わっているが、この限りではなく、強化ガラス板１の反り（反り部４における凸面の湾曲）に倣うような凹湾曲面がエッチング部材８に備わっていてもよい。 Here, it is also possible to apply the following modifications to each of the above embodiments. In each of the above-described embodiments, the etching member 8 is provided with the flat surface 7, but this is not the only option. It may be provided on the member 8 .

　実施例として、上記の実施形態と同様の要領で処理後強化ガラス板１を製造すると共に、除去工程前の強化ガラス板１における反り量と、除去工程後の処理後強化ガラス板１における反り量とを比較した。その結果を下記の［表１］に示す。 As an example, the treated tempered glass sheet 1 was manufactured in the same manner as in the above embodiment, and the amount of warpage in the tempered glass sheet 1 before the removal step and the amount of warp in the treated tempered glass plate 1 after the removal step were measured. compared with The results are shown in [Table 1] below.

　まず、強化工程として、ガラス組成としてモル％で、ＳｉＯ₂　６６．４％、Ａｌ₂Ｏ₃　１１．５％、Ｂ₂Ｏ₃　０．５％、Ｋ₂Ｏ　１．４％、Ｎａ₂Ｏ　１５．２％、Ｌｉ₂Ｏ　０．０２％、ＭｇＯ　４．８％、ＣａＯ　０．１％、ＳｎＯ₂　０．１％を含む化学強化用ガラス板（縦寸法×横寸法：２００ｍｍ×１００ｍｍ、厚み：５０μｍ）の複数枚を溶融塩（ＫＮＯ₃、４３０℃）に１０分間浸漬させることで、複数枚の強化ガラス板１のサンプルを得た。 First, as a strengthening step, the glass composition is 66.4% _{SiO2 ,} 11.5% _{Al2O3 ,} 0.5% _B2O3 , 1.4% _K2O , and 15% _Na2O . .2% Li ₂ O 0.02% MgO 4.8% CaO 0.1% SnO ₂ 0.1% glass plate for chemical strengthening (longitudinal dimension x lateral dimension: 200 mm x 100 mm, thickness: 50 μm) were immersed in molten salt (KNO ₃ , 430° C.) for 10 minutes to obtain a plurality of tempered glass plate 1 samples.

　次に、複数枚のサンプルの中から反りが発生しているサンプルを二枚抜き出し、洗浄した後、それぞれに対して除去工程を実行した。具体的には、二枚のサンプルの一方を実施例１、他方を実施例２とした上で、実施例１では上記の第二実施形態と同様の態様、実施例２では上記の第一実施形態と同様の態様でエッチングを施すことにより除去工程を実行して、処理後強化ガラス板１を製造した。なお、下記の［表１］における「処理方法」の項目は、除去工程を実行する際の強化ガラス板１の姿勢を示している。 Next, two warped samples were extracted from the multiple samples, washed, and the removal process was performed on each. Specifically, one of the two samples is Example 1 and the other is Example 2. In Example 1, the same aspect as the second embodiment described above, and in Example 2, the first embodiment described above. A removal step was performed by etching in the same manner as the morphology to produce a post-treated tempered glass sheet 1 . The item "processing method" in [Table 1] below indicates the posture of the tempered glass plate 1 when performing the removal step.

　実施例１及び２の双方について、エッチングを施すにあたっては、アイオン株式会社製のＰＶＡスポンジ（製品名：ビーファイン）をエッチング部材８として使用し、当該ＰＶＡスポンジにエッチング液（ＨＦ１ｗｔ％の水溶液）を含浸させた。実施例１及び２の各々において、サンプルとＰＶＡスポンジとを接触させた時間は、下記の［表１］における「処理時間」の項目のとおりである。 For both Examples 1 and 2, a PVA sponge manufactured by Aion Co., Ltd. (product name: B-Fine) was used as the etching member 8 for etching, and an etching solution (HF 1 wt% aqueous solution) was applied to the PVA sponge. Impregnated. In each of Examples 1 and 2, the contact time between the sample and the PVA sponge is as shown in the "treatment time" item in [Table 1] below.

　そして、実施例１及び２の各々において、除去工程の前後における反り量の変化について検証を行った。下記の［表１］における「処理前」の各項目「凸側ＣＳ」、「凹側ＣＳ」、「凸側ＤＯＣ」、「凹側ＤＯＣ」、「反り量」は、除去工程前の強化ガラス板１における、凸面側での最大圧縮応力ＣＳ、凹面側での最大圧縮応力ＣＳ、凸面側での圧縮応力層の最大深さＤＯＣ、凹面側での圧縮応力層の最大深さＤＯＣ、反り量をそれぞれ示している。また、「処理後」の各項目「凸側ＣＳ」、「凸側ＤＯＣ」、「反り量」は、除去工程後の処理後強化ガラス板１における、凸面側での最大圧縮応力ＣＳ、凸面側での圧縮応力層の最大深さＤＯＣ、反り量をそれぞれ示している。 Then, in each of Examples 1 and 2, the change in warpage amount before and after the removal process was verified. Each item "convex side CS", "concave side CS", "convex side DOC", "concave side DOC", and "warp amount" in "before treatment" in the following [Table 1] is the tempered glass before the removal process. In the plate 1, the maximum compressive stress CS on the convex side, the maximum compressive stress CS on the concave side, the maximum depth DOC of the compressive stress layer on the convex side, the maximum depth DOC of the compressive stress layer on the concave side, and the amount of warpage are shown respectively. In addition, the items "convex side CS", "convex side DOC", and "warp amount" of "after treatment" are the maximum compressive stress CS on the convex side and the convex side The maximum depth DOC and the amount of warpage of the compressive stress layer at .

　［表１］に示す結果から明白なように、除去工程後においては除去工程前と比較して反り量が大きく抑制されていることが分かる。さらに、厚みが５０μｍである超薄型の強化ガラス板であっても、反り量を１ｍｍ以下に小さくできていることが分かる。また、［表１］に示す結果から理解できるように、除去工程後における凸側ＣＳや凸側ＤＯＣの値は、除去工程前における凹側ＣＳや凹側ＤＯＣと近い値が実現されている。つまり、除去工程の実行に伴って表裏間強化差を極めて小さくできている。以上のことから、本開示に係る強化ガラス板の製造方法によれば、厚みが薄くとも反りの小さい強化ガラス板を実現できるものと推認される。 As is clear from the results shown in [Table 1], it can be seen that the amount of warpage is greatly suppressed after the removal process compared to before the removal process. Furthermore, it can be seen that even with an ultra-thin tempered glass plate having a thickness of 50 μm, the amount of warpage can be reduced to 1 mm or less. Further, as can be understood from the results shown in [Table 1], the values of the convex side CS and the convex side DOC after the removal process are close to the values of the concave side CS and the concave side DOC before the removal process. That is, the strengthening difference between the front and back surfaces can be made extremely small with the execution of the removing process. From the above, it is presumed that according to the method for manufacturing a tempered glass sheet according to the present disclosure, it is possible to realize a tempered glass sheet that is thin but has little warpage.

　１　　　　　　強化ガラス板
　２　　　　　　表面
　３　　　　　　裏面
　４　　　　　　反り部
　４ａ　　　　　第一反り部
　４ｂ　　　　　第二反り部
　５　　　　　　圧縮応力層
　６　　　　　　圧縮応力層
　７　　　　　　平坦面
　８　　　　　　エッチング部材 REFERENCE SIGNS LIST 1 tempered glass plate 2 front surface 3 back surface 4 warped portion 4a first warped portion 4b second warped portion 5 compressive stress layer 6 compressive stress layer 7 flat surface 8 etching member

1. 　可撓性を有するガラス板を化学強化することで表裏両側にそれぞれ圧縮応力層が形成された強化ガラス板を得る強化工程、を含んだ強化ガラス板の製造方法であって、
   　前記強化ガラス板が、表裏面の一方が凸となるように反った反り部を含み、
   　前記反り部における凸面側の前記圧縮応力層の表層部を除去することで反りを小さくする除去工程、を更に含むことを特徴とする強化ガラス板の製造方法。 A method for producing a tempered glass sheet, comprising a tempering step of chemically tempering a flexible glass sheet to obtain a tempered glass sheet having compression stress layers formed on both front and back sides,
   The tempered glass plate includes a warped portion that is warped so that one of the front and back surfaces is convex,
   A method for manufacturing a tempered glass sheet, further comprising a removing step of reducing warpage by removing a surface layer portion of the compressive stress layer on the convex side of the warped portion.

2. 　前記反り部における前記凸面上の一部の領域のみにエッチング又は研磨加工を施すことにより、前記一部の領域に対応する前記圧縮応力層の表層部を除去することを特徴とする請求項１に記載の強化ガラス板の製造方法。 2. The surface layer portion of the compressive stress layer corresponding to the partial area is removed by etching or polishing only a partial area on the convex surface of the warped portion. A method for producing the tempered glass sheet described.

3. 　前記強化ガラス板を縦姿勢で吊り下げ支持した状態でエッチングを施すことを特徴とする請求項２に記載の強化ガラス板の製造方法。 The method for manufacturing a tempered glass sheet according to claim 2, wherein etching is performed while the tempered glass sheet is suspended and supported in a vertical position.

4. 　前記反り部における前記凸面の頂点を含んだ領域にエッチングを施すことを特徴とする請求項２又は３に記載の強化ガラス板の製造方法。 The method for manufacturing a tempered glass sheet according to claim 2 or 3, characterized in that etching is applied to a region including the vertex of the convex surface in the warped portion.

5. 　前記強化ガラス板が前記反り部を複数含み、
   　前記複数の反り部の中には、前記強化ガラス板の表面が凸となった前記反り部と、裏面が凸となった前記反り部と、が含まれることを特徴とする請求項３又は４に記載の強化ガラス板の製造方法。 The tempered glass plate includes a plurality of warped portions,
   5. The plurality of warped portions include the warped portion having a convex front surface and the warped portion having a convex rear surface of the tempered glass sheet. The method for producing the tempered glass plate according to 1.

6. 　エッチング液を保持可能な平坦面を備えたエッチング部材を用いて、
   　前記反り部における前記凸面上の前記一部の領域と、前記エッチング部材の前記平坦面と、を接触させてエッチングを施すことを特徴とする請求項２～５のいずれかに記載の強化ガラス板の製造方法。 Using an etching member having a flat surface capable of holding an etchant,
   The tempered glass plate according to any one of claims 2 to 5, wherein etching is performed by bringing the partial region on the convex surface of the warped portion and the flat surface of the etching member into contact with each other. manufacturing method.

7. 　前記エッチング部材の前記平坦面の面積を、前記強化ガラス板の面積以上にすることを特徴とする請求項６に記載の強化ガラス板の製造方法。 The method for manufacturing a tempered glass sheet according to claim 6, wherein the area of the flat surface of the etching member is equal to or larger than the area of the tempered glass sheet.

8. 　前記エッチング部材が、前記エッチング液を含浸させたスポンジ状部材であり、
   　前記エッチング液が、ＨＦ又はＨＦを含んだ混酸、を含むことを特徴とする請求項６又は７に記載の強化ガラス板の製造方法。 The etching member is a sponge-like member impregnated with the etching liquid,
   8. The method for manufacturing a tempered glass sheet according to claim 6, wherein the etching liquid contains HF or a mixed acid containing HF.

9. 　前記強化ガラス板の全体が単一の前記反り部からなり、
   　前記反り部における前記凸面の全領域にエッチング又は研磨加工を施すことにより、前記全領域に対応する前記圧縮応力層の表層部を除去することを特徴とする請求項１に記載の強化ガラス板の製造方法。 The entire tempered glass plate consists of the single warped portion,
   2. The tempered glass sheet according to claim 1, wherein the surface layer portion of the compressive stress layer corresponding to the entire region is removed by etching or polishing the entire region of the convex surface in the warped portion. Production method.

10. 　前記除去工程前における前記凸面側の前記圧縮応力層の最大深さをＤＯＣとし、前記除去工程で除去される前記圧縮応力層の表層部の厚みをΔｔとしたとき、
    　Δｔ≦０．８×ＤＯＣを満たすことを特徴とする請求項１～９のいずれかに記載の強化ガラス板の製造方法。 When the maximum depth of the compressive stress layer on the convex surface side before the removing step is DOC, and the thickness of the surface layer portion of the compressive stress layer removed in the removing step is Δt,
    10. The method for producing a tempered glass sheet according to any one of claims 1 to 9, wherein Δt≦0.8×DOC is satisfied.

11. 　前記除去工程前における前記強化ガラス板の厚みが１００μｍ以下であり、
    　前記除去工程後における前記強化ガラス板の反り量が１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１～１０のいずれかに記載の強化ガラス板の製造方法。 The thickness of the tempered glass plate before the removing step is 100 μm or less,
    The method for producing a tempered glass sheet according to any one of claims 1 to 10, wherein the amount of warping of the tempered glass sheet after the removing step is 1 mm or less.

12. 　厚みが１００μｍ以下の強化ガラス板であって、
    　表裏面の一方が凸となるように反った反り部を含み、
    　前記反り部における凸面上の少なくとも一部の領域にエッチングが施された処理領域を有し、
    　当該強化ガラス板の反り量が１ｍｍ以下であることを特徴とする強化ガラス板。 A tempered glass plate having a thickness of 100 μm or less,
    Including a warped part that warps so that one of the front and back surfaces is convex,
    Having a processed region in which etching is applied to at least a partial region on the convex surface of the warped portion;
    A tempered glass sheet, wherein the amount of warp of the tempered glass sheet is 1 mm or less.